도입사례

YIMO TECH Thermo Fisher Scientific Apreo 2S SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 중국 Shizuishan에 설치 후(End User: Ningxia Orient Tantalum Industry Co. Ltd.), DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼이 VC-F 진동 사양을 만족(바닥은 수직·좌우·전후 전 축에서 FAIL, DVIA-ML1000 플랫폼은 전 축 PASS). 튜닝 요청서, 축별 VC Curves, 설치 사진을 게시.

중국 후이양 Biel Crystal Manufactory Limited 현장 DVIA-ML3000S(S/N 260406R2-1)·Raith EBPG5200 Plus E-Beam 리소그래피 설치 보고서(YIMO TECH 공급). 튜닝 요청서와 UI 프로그램 기준 수직·좌우·전후 Autospectrum 데이터를 게시. 진동 사양은 1 Hz에서 8 µm/s RMS, 100 Hz에서 12.5 µm/s RMS이며(수평·수직 동일), 측정 요약의 진동 사양 열은 See Section 9로 세 축 모두 바닥과 DVIA-ML3000S 플랫폼에서 PASS.

Tier-1 Semiconductor 기흥 사업장 S1 Line 1F 연구실 DVIA-ML3000(시리얼 260319R2) 설치 보고서 — ZEISS X-ray Microscope Xradia 520 Versa. 장비 스펙 VC-C, B&K Front End Type 3040-A-040 및 Pulse Labshop22, PCB 393B05 가속도계, 축별 VC Curves 및 Autospectrum 플롯, Reference 진동 기준은 마크다운 표로 제공.

YIMOTECH(End User Citic Metal, 중국 베이징) Thermo Fisher Scientific FIB-SEM Helios 5CX DVIA-ULF1000 설치 보고서 — 설치 후 장비 IDLE 상태에서 튜닝과 진동 측정을 진행하고 VC-F 스펙 대비 VC Curve 형식으로 표기. DVIA-ULF1000 플랫폼에서는 수직·좌우·전후 3축 모두 PASS, 바닥에서는 3축 모두 FAIL. Tuning Request 캡처와 축별 VC Curves, 설치 사진을 게시.

한국기계연구원(KIMM)에 납품된 DVIA-PB2200(시리얼 250122R1-1)의 VOC26-049 현장 분석 보고서입니다. 보고서 작성일은 2026년 7월 7일이며, X축 28Hz Peak와 50~90Hz 대역 공진 Peak의 원인을 규명했습니다. 레벨풋·풋마스터 조합을 바꾼 세 가지 지지 조건에서 현장 측정을 수행하고, 상판 모달 FEM 해석, 수평도·무게 중심·소음 점검, Open-Loop 전달함수, Passive 전달률, Autospectrum, VC Curves, Active On 데이터, Passive와 Active 비교, 그리고 상부 장비 지지 Frame·펌프 구동부·챔버·제진대 상판과 하판의 Compliance 측정 결과를 정리했습니다. 측정 장비는 PULSE 22, 임팩트 해머, PCB 393B05 가속도 센서입니다. 보고서 그림 97장을 그대로 게시합니다.

YDRICQS(Quantum Science and Technology Yangtze River Delta Industrial Innovation Center, 중국 쑤저우) Thermo Fisher Scientific Helios 5CX FIB-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 액티브 제진 플랫폼이 전 축에서 VC-F 진동 사양을 만족(바닥은 수직 축에서만 Fail, DVIA-ML1000 플랫폼은 수직·좌우·전후 전 축 PASS). 축별 Auto Spectrum·VC Curves, 튜닝 요청서, 설치 사진을 게시.