ZEISS EVO 15 SEM DVIA-ULF700 설치 보고서
Contents
개요
Shanghai 현장에 DVIA-ULF700을 설치한 뒤 튜닝과 진동 측정을 수행했습니다.
진동 측정은 장비를 Idle 상태로 두고 진행했습니다.
데이터는 Autospectrum 형식으로 제시했으며, 진동 레벨에 관한 참고 자료는 함께 제공합니다.
제진대 정보
모델: DVIA-ULF700
시리얼 넘버: 260901R1
엔지니어
Taehun Kim · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.10.15
End User
Delta Electronics
튜닝 횟수
1st
설치 장소
Shanghai
고객사 장비
제조사: ZEISS
장비명: SEM
모델: EVO 15
진동 스펙
Horizontal & Vertical
| Frequency [Hz] | Allowable [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 ~ 30 | 6 |
| 30 ~ | 12 |
장비 상태
Idle
결론
Shanghai의 Delta Electronics 현장에서 ZEISS EVO 15를 Idle 상태로 두고, 바닥(base)과 DVIA-ULF700(S/N 260901R1) 위(top)에서 진동을 측정했습니다.
제진대의 진동은 세 축 모두 EVO 15 규격(9절)을 만족합니다. 1–30 Hz 구간에서 제진대 최대 진동 레벨은 1 Hz 밴드에서 각각 약 0.31 µm/s RMS(Vertical), 0.23 µm/s RMS(Left to Right), 0.13 µm/s RMS(Front to Back)이며, 6 µm/s RMS 한도 기준 최소 안전계수는 약 19입니다. 30 Hz 이상에서는 12 µm/s RMS 한도 대비 최대 약 0.01 µm/s RMS입니다. 각 축의 측정 그래프는 13절에 제시했습니다.
측정 데이터 요약
| Measurement Point | Vibration Specifications | Axis | Result | |
|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-ULF700 | |||
| 1. Floor 2. DVIA-ULF700 | See Section 9 | Vertical | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
UI 프로그램 측정 데이터
Vertical
Vertical — Autospectrum
Left to Right
Left to Right — Autospectrum
Front to Back
Front to Back — Autospectrum
설치 사진
최종 사용자 현장에서 사진 촬영이 허용되지 않았습니다.
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
¹ 주파수 범위 8~80 Hz(VC-A, VC-B) 또는 1~80 Hz(VC-C ~ VC-G)의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 선폭, 의료·제약 연구의 경우 입자(셀) 크기 등을 의미합니다. 프로브 기술, AFM, 나노기술과 연관된 이미징에는 해당하지 않습니다.
이 표의 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 해당 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 조건을 잘 아는 전문가의 자문을 받을 것을 권장합니다.
