도입사례

에프에스티(FST) 오산 사업장 3층 클린룸에 설치된 DVIF-FB-1000x2000x3000H 제진대(S/N 241001R5)의 상판 보강 작업 후 성능을 확인하기 위한 진동 측정 보고서입니다. 상부에는 LAZIN LODAS-B18 포토마스크 블랭크 검사장치가 탑재되어 있으며, 장비를 IDLE 상태로 두고 수평·수직 모두 25 µm/s RMS(VC-B) 기준으로 측정하였습니다. 보강 전에는 3축이 모두 기준을 초과했으나, 보강 후 수직(Z)은 27.7 → 17.9 µm/s, 좌우(X)는 70.7 → 22.4 µm/s로 VC-B를 충족하였고, 전후(Y)는 71.0 → 48.0 µm/s로 32.4% 저감되었지만 VC-A 수준에 머물렀습니다. DVIF-FB 상판의 축별 보강 전·후 VC Curves와 상부 장비 Stage에서 측정한 축별 VC Curves를 함께 게시합니다.

중국 우시(Wuxi) Broadcast and Television Metrology 현장에 를 통해 공급된 Thermo Fisher Scientific Talos FIB-SEM의 DVIA-ML1000 설치 보고서입니다. 2026년 6월 5일 1차 튜닝을 진행했고, 장비를 turned on/IDLE 상태로 둔 채 측정했습니다. 수직 방향에서 바닥은 15.5Hz에서 4.62µm/s RMS였지만 DVIA-ML1000 위에서는 0.11µm/s에 머물렀고, 좌우는 4.5Hz에서 0.71 → 0.14µm/s, 전후는 3.5Hz에서 0.58 → 0.034µm/s로 세 축 모두 바닥과 플랫폼 양쪽에서 PASS했습니다. Thermo Fisher Scientific은 SE-Tools 사이트 서베이 결과로 현장별 진동 요구 조건을 제시하므로 적용 사양은 해당 서베이 리포트를 따릅니다. 튜닝 요청서(작업지시서)와 축별 VC Curves·Autospectrum·Transmissibility 측정 그래프를 함께 게시합니다.

새론테크놀로지 의왕 사업장 506호 연구실에서 자사 SEM인 SEMIRON 5000을 받치고 있는 DVIA-MB1000(S/N 161117R3) 제진대를 점검하고 진동을 측정한 보고서입니다. 장비를 IDLE 상태로 둔 채 측정한 결과 바닥은 3축 모두 VC-D 수준이었지만, 제진대 위에서는 수직(Z축)·좌우(X축)·전후(Y축)가 모두 VC-G까지 떨어져 별도의 재튜닝 없이 그대로 운용할 수 있는 상태로 확인됐습니다. 축별 Autospectrum·VC Curves와 장비 사진을 함께 게시합니다.

새론테크놀로지 의왕 사업장 506호 연구실에서 자사 SEM인 SEMIRON 5000을 받치고 있는 DVIA-MB1000(S/N 170619R2) 제진대를 점검하고 진동 환경을 다시 측정한 보고서입니다. 장비를 IDLE 상태로 둔 채 측정한 결과 바닥은 3축 모두 VC-D 수준이었으나, 제진대 위에서는 수직(Z축)·좌우(X축)·전후(Y축)가 모두 VC-G까지 낮아져 별도의 재튜닝 없이 그대로 운용할 수 있는 상태로 확인됐습니다. 축별 Autospectrum·VC Curves와 장비 사진을 함께 게시합니다.

중국 상하이의 End User Shanghai Fasteners and Welding Materials Technology Research Institute Co., Ltd. (上海紧焊所) 현장에서 ZEISS EVO 10 SEM을 받치고 있는 DVIA-U1000 능동형 제진대(시리얼 241217R6)에 대한 설치 보고서입니다. 같은 호기의 2차 튜닝 건으로, 2026.08.04에 재튜닝을 진행하고 장비를 Turned off 상태로 둔 채 진동을 측정했습니다. 게시 자료는 중문 조정 요청서(调试请求书) 작업지시서, 대일시스템 UI 프로그램에서 취득한 축별 전달률(Transmissibility) 그래프 3종(Vertical=Z축, Left to Right=X축, Front to Back=Y축), 그리고 DVIA-U 시리즈 제진대 위에 설치된 EVO 10 현장 사진입니다. 원문 보고서에는 진동 스펙 절과 PASS/FAIL 측정 요약 표가 없어 본 페이지에도 싣지 않았습니다.

Yidong Optics SEM DVIA-ML1000 설치 보고서(2차 튜닝, 2026.07.17 시행) — 중국 쑤저우 현장(End User: Yidong Optics Co., Ltd.)에서 장비를 IDLE 상태로 둔 채 DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼을 재튜닝하고 측정했습니다. 바닥은 수직 VC-D, 좌우 VC-F, 전후 VC-E였으나 DVIA-ML1000 플랫폼 위에서는 세 축 모두 VC-G에 도달했습니다. 튜닝 요청서(调试请求书)와 축별 Autospectrum·VC Curves, 설치 사진을 함께 게시합니다.