AIPIN STM DVIA-ML1000 재튜닝 설치 보고서
Contents
개요
고객사가 제진대 불안정을 보고함에 따라, 베이징의 National Center for Nanoscience and Technology에서 DVIA-M1000 (S/N 221024R3)에 대해 재튜닝을 수행하고, 이후 진동 측정을 진행하였습니다. 진동은 AIPIN STM이 IDLE 상태일 때 바닥과 제진대에서 측정하였습니다. 결과는 각 축별로 Autospectrum과 VC Curves로 표시하였으며, 진동 기준(VC)의 참고 표를 함께 제공합니다.
제진대 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 221024R3
엔지니어
김태헌 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.10.13
End User
National Center for Nanoscience and Technology
튜닝 횟수
5th (re-tuning)
설치 장소
Beijing
고객사 장비
제조사: Aipin Instrument Technology
장비: STM
모델: AIPIN STM
진동 스펙
측정 당시 제조사나 최종 사용자로부터 장착 장비의 진동 스펙을 제공받지 못하였습니다. 따라서 본 보고서에서는 측정된 진동 수준만 제시하며, PASS/FAIL 판정은 하지 않습니다.
장비 상태
장착된 UHV STM 시스템은 제진대 밖 구조물(바닥 설치 프레임, 전달 로드, 호스 및 케이블)과 기계적으로 연결되어 있어, 측정 당시 제진대는 완전한 격리 상태가 아니었습니다.
Tuning Request
결론
수평축의 12–16 Hz 밴드를 제외한 모든 축에서 바닥 진동이 감쇠되었습니다. 해당 12–16 Hz 밴드에서는 제진대 수준이 바닥보다 높게 나타났습니다. 제진대는 Vertical에서 VC-G, Left to Right와 Front to Back에서 VC-E를 달성하였습니다.
이러한 수평 증폭은 장착 시스템과 주변 구조물 사이 기계적 연결이 제진대를 우회(바이패스)하기 때문으로 판단됩니다 (10절).
진동 스펙이 제공되지 않았으므로 (9절), 최종 평가는 장비 제조사 또는 최종 사용자에게 위임됩니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 측정 축 | 바닥 | DVIA-ML1000 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 1. 바닥<br>2. DVIA-ML1000 | Vertical | VC-C | VC-G | ||
| Left to Right | VC-D | VC-E | |||
| Front to Back | VC-D | VC-E | |||
UI 프로그램으로 취득한 측정 데이터
Vertical
Vertical — Autospectrum
Vertical — VC Curves
Left to Right
Left to Right — Autospectrum
Left to Right — VC Curves
Front to Back
Front to Back — Autospectrum
Front to Back — VC Curves
설치 사진
고객사 장비
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
¹ 8–80 Hz(VC-A, VC-B) 또는 1–80 Hz(VC-C~VC-G) 주파수 구간의 1/3 옥타브 대역에서 측정.
² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조 시 폭, 의료·제약 연구 시 입자(세포) 크기 등을 나타내며, 프로브 기술·AFM·나노기술 관련 이미징에는 해당하지 않습니다.
이 표의 정보는 참고용으로 제시됩니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 적용과 진동 요구 사항에 정통한 전문가의 조언을 구할 것을 권장합니다.
