YIMO TECH ZEISS Sigma 300 FESEM DVIA-ULF700 설치 보고서
DVIA-ULF Series
Installation Report
YIMO TECH
Xi’an Jiaotong University Testing Center
ZEISS
Sigma 300
DVIA-ULF700
260813R2
Contents
개요
Xi’an 현장에 DVIA-ULF700을 설치한 뒤 튜닝과 진동 측정을 수행했습니다.
진동 측정은 장비를 Idle 상태로 두고 진행했습니다.
데이터는 Autospectrum 형식으로 제시했으며, 진동 레벨에 관한 참고 자료를 함께 제공합니다.
제진대 정보
모델: DVIA-ULF700
시리얼 넘버: 260813R2
엔지니어
Younguk KIM · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.10.14
End User
Xi’an Jiaotong University Testing Center
튜닝 횟수
1st
설치 장소
Xi’an
고객사 장비
제조사: ZEISS
장비명: FESEM
모델: Sigma 300
진동 스펙
Horizontal
| Frequency [Hz] | Allowable [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.04 |
| 10 | 0.04 |
| 10 | 0.17 |
| 20 | 0.17 |
| 20 | 0.3 |
| 70 | 0.3 |
| 70 | 2 |
Vertical
| Frequency [Hz] | Allowable [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.03 |
| 8 | 0.03 |
| 8 | 0.15 |
| 45 | 0.15 |
| 45 | 2 |
장비 상태
Idle
Tuning Request
측정 데이터 요약
| Measurement Point | Vibration Specifications | Axis | Result | |
|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-ULF700 | |||
| 1. Floor 2. DVIA-ULF1000 | See Section 9 | Vertical | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
UI 프로그램 측정 데이터
Vertical
Vertical — Autospectrum
Left to Right
Left to Right — Autospectrum
Front to Back
Front to Back — Autospectrum
설치 사진
장비
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
¹ 주파수 범위 8~80 Hz(VC-A, VC-B) 또는 1~80 Hz(VC-C ~ VC-G)의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 선폭, 의료·제약 연구의 경우 입자(셀) 크기 등을 의미합니다. 프로브 기술, AFM, 나노기술과 연관된 이미징에는 해당하지 않습니다.
이 표의 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 해당 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 조건을 잘 아는 전문가의 자문을 받을 것을 권장합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
작성일10-14-2026
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
YIMO TECH
Xi’an Jiaotong University Testing Center
ZEISS
Sigma 300
DVIA-ULF700
260813R2
