도입사례

중국 안산 Ansteel Iron and Steel Research Institute 현장 DVIA-ML3000(S/N 251125R4)·Thermo Scientific Talos TEM 설치 보고서(공급). 튜닝 요청서와 UI 프로그램 기준 수직·좌우·전후 VC Curves, 현장 설치 사진을 게시. 진동 사양은 1-100 Hz 구간에서 수평 1.56 µm/s RMS·수직 3.12 µm/s RMS이며, 측정 요약의 진동 사양 열은 See Section 9로 세 축 모두 바닥 FAIL·DVIA-ML3000 플랫폼 PASS.

Tier-1 Semiconductor(화성) V1 라인 3층의 Advantest DR-SEM(E5610) 하부에 설치된 DVIA-P4000(시리얼 260204R5) 설치 보고서입니다. 2026년 7월 22일 장비 설치 및 Turned on 상태에서 튜닝과 진동 측정을 진행했습니다. 제진대 상판은 X, Y, Z 축 모두 요구 스펙(0.5~10Hz 1.0 µm p-p 이하, 10~25Hz 0.1 이하, 25~100Hz 0.03 이하)을 만족했으나, 바닥은 수직(Z-axis)과 전후(Y-axis)에서 스펙을 초과하여 Fail로 측정되었습니다.

YOUSHIZE TECH ZEISS GeminiSEM 360 FIB-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 중국 Yancheng에 설치 후(End User: Yancheng High-tech Zone), 장비가 IDLE 상태에서 DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼을 튜닝·측정했으며 바닥과 DVIA-ML1000 플랫폼 모두 수직·좌우·전후 전 축에서 PASS. 튜닝 요청서, 진동 사양, 축별 Autospectrum, 설치 사진을 게시.

중국 쑤저우(Suzhou)에 설치한 Sensofar Sneox 광학 프로파일로미터용 DVIA-ULFD350 액티브 제진대 설치 보고서입니다. End User는 Heihe Electronics Co., Ltd.이며, 장비를 IDLE 상태로 둔 채 튜닝과 진동 측정을 진행했습니다. 바닥은 수직 VC-E, 좌우·전후 VC-F 수준이었지만 DVIA-ULFD350 상판에서는 세 축 모두 VC-G까지 떨어졌습니다. 튜닝 요청서(调试请求书)와 축별 Autospectrum·VC Curves, 설치 사진을 함께 게시합니다.

Thermo Fisher Scientific Apreo 2S SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 중국 Shizuishan에 설치 후(End User: Ningxia Orient Tantalum Industry Co. Ltd.), DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼이 VC-F 진동 사양을 만족(바닥은 수직·좌우·전후 전 축에서 FAIL, DVIA-ML1000 플랫폼은 전 축 PASS). 튜닝 요청서, 축별 VC Curves, 설치 사진을 게시.

중국 후이양 Biel Crystal Manufactory Limited 현장 DVIA-ML3000S(S/N 260406R2-1)·Raith EBPG5200 Plus E-Beam 리소그래피 설치 보고서(공급). 튜닝 요청서와 UI 프로그램 기준 수직·좌우·전후 Autospectrum 데이터를 게시. 진동 사양은 1 Hz에서 8 µm/s RMS, 100 Hz에서 12.5 µm/s RMS이며(수평·수직 동일), 측정 요약의 진동 사양 열은 See Section 9로 세 축 모두 바닥과 DVIA-ML3000S 플랫폼에서 PASS.