도입사례

TF AMD Microelectronics(말레이시아 페낭) TESCAN AMBER X GMH FIB-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 액티브 제진 플랫폼이 전 축에서 진동 사양을 만족(바닥 수직은 FAIL이나 DVIA-ML1000 플랫폼은 PASS). 축별 Autospectrum·VC Curves·Transmissibility 게시.

한국과학기술연구원(KIST) L3동 1F Line JEOL JBX-A9 E-Beam Lithography DVIA-P4000 설치 보고서 — 장비 Turned On, IDLE 상태에서 진동 측정. 수직·좌우·전후 전 축이 바닥과 DVIA-P4000 제진대 모두 PASS. 현장 공압 공급 불안정으로 최대 성능보다 장기 운용 안정성을 중점으로 튜닝.

중국 상하이의 Epin Instruments Technology Co., Ltd.에 YIMO TECH를 통해 공급된 STM용 DVIA-MO1000 설치 보고서입니다. 제진대 시리얼은 241101R2이며, 2026년 6월 22일에 2차 튜닝을 진행하고 같은 날 보고서를 작성했습니다. 해당 현장에는 공식적으로 정해진 진동 사양이 없어 보고서에도 그대로 기재되어 있습니다. 측정 요약을 보면 바닥은 수직 VC-C, 좌우 VC-F, 전후 VC-E 수준이었고, 제진 플랫폼 위에서는 수직 VC-F, 좌우·전후 모두 VC-G까지 낮아졌습니다. 세 축의 Autospectrum·VC Curves·Transmissibility 그래프 아홉 장과 플랫폼 위에 설치된 STM 장비 사진을 함께 게시합니다.

중국 푸양(Fuyang)의 Fuyang University of Technology에 YIMO TECH를 통해 공급된 Thermo Fisher Scientific Apreo 2C SEM의 DVIA-ML1000 설치 보고서입니다. 2026년 6월 22일에 1차 튜닝을 진행하고 같은 날 보고서를 작성했습니다. 측정 요약에서는 수직·좌우·전후 세 축 모두 바닥과 DVIA-ML1000 플랫폼이 VC-G 등급으로 정리되었습니다. Thermo Fisher Scientific은 SE-Tools를 이용한 사이트 서베이로 현장별 주변 진동 요구 조건을 제시하므로, 적용 사양은 해당 서베이 리포트를 따릅니다. 튜닝 요청 작업지시서와 축별 Autospectrum·VC Curves·Transmissibility 그래프, DVIA-ML1000 위에 설치된 Apreo 2C 장비 사진을 함께 게시합니다.

코셈 연구소 데모실에 설치된 Schottky Field Emission SEM(FX-2000)용 DVIA-ULFB700 제진대(S/N 260423R1-1) 설치 보고서입니다. 설치 후 장비를 IDLE 상태로 두고 VC-E 요구 사양을 기준으로 튜닝과 진동 측정을 진행하였습니다. 바닥에서는 수직(Z축)과 좌우(X축)가 VC-E를 초과했고 전후(Y축)만 기준 이내였으나, 제진대 상부(DVIA-ULFB700)에서는 3축 모두 기준을 만족하여 SPEC-In을 확인하였습니다. 축별 VC Curves와 Autospectrum 측정 그래프를 게시합니다.

Tier-1 Semiconductor 기흥 NRD K라인 4층 Hitachi In-Line SEM XF-1000 DVIA-P10000 설치 보고서 — 장비 Turned on/IDLE 상태에서 점검·진동 측정. 수직·좌우 축은 바닥/제진대 모두 PASS, 전후 축은 바닥 FAIL이나 DVIA-P10000 제진대는 전 축에서 요구 조건을 만족.