Tier-1 Semiconductor 천안 ZEISS X-ray Microscope DVIA-ULF1500 설치 보고서

본 보고서는 C3라인 6층 양산품질팀 클린룸으로 이전 설치된 DVIA-ULF1500의 튜닝 및 진동 측정 결과를 기술한 것입니다.

측정은 제진대의 능동 제진을 동작(Active On)시킨 상태에서 수행하였으며, 제진대 하부(Base)와 상부(Top)를 대상으로 진동 저감 효과를 비교 분석하였습니다. 상부 장비인 ZEISS Xradia 730 Versa 역시 전원 인가(Turn On) 상태에서 점검 및 측정을 진행하였습니다. 측정점은 ULF 모듈 2기 사이 중앙 지점으로 선정하였으며, 해당 지점에 대해 수직(Z-axis), 좌우(X-axis), 전후(Y-axis) 3축을 측정하였습니다.

측정 데이터는 VC Curve로 표기하였으며, 장비 제조사 제시 설치 진동 사양(Installation Requirement)을 SPEC 기준선으로 함께 도시하여 만족 여부를 직접 비교하였습니다. 아울러 14항의 IEST-RP-CC012.2 분류 기준과 함께 현재 진동 수준에 대한 Reference 자료로 제공합니다.

모델: DVIA-ULF1500

시리얼 넘버: 260402R2

김태헌 · 대일시스템

2026.09.11

C3라인 6층 양산품질팀 라인 클린룸

고객사: Tier-1 Semiconductor 천안

제조사: ZEISS

장비명: X-ray Microscope

모델: Xradia 730 Versa

VC-C

Turn on

9.1) Measurement Equipment

하드웨어: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040

소프트웨어: Pulse 22

9.2) Accelerometer

PCB Accelerometer 393B05 2EA(Top, Base)

F Span: 200 Hz

Lines: 2400

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

본 측정은 C3라인 6층 양산품질팀 클린룸으로 이전 설치된 DVIA-ULF1500의 튜닝 완료 후, 능동 제진 동작 상태에서의 진동 저감 효과를 정량적으로 확인하기 위하여 진행하였습니다.

측정 결과, ULF 모듈 2기 사이 중앙 지점에서 바닥 진동이 유효하게 저감되어 전 축 사양을 만족하였으며, VC-C 등급 이내로 확인되었습니다. 패시브 방식으로는 저감이 제한적인 저주파 영역에서 능동 제진의 효과가 확인되었습니다.

본 시스템은 ULF 모듈 2기가 상부 장비를 통해 상호 작용하는 구조이므로, 제진 성능 판정은 장비가 실제 지지되는 2기 사이 중앙 지점을 기준으로 하였으며 해당 기준에서 전 축 VC-C 등급을 만족합니다. 현재 설치 상태에서 ZEISS 장비 운용에 진동에 기인한 제약 요소는 관찰되지 않았습니다.

[후속 조치 계획]

향후 장비 운용 중 진동에 기인한 성능 이상이 확인될 경우, 현장 방문을 통해 스프링 조정 및 재튜닝을 진행할 예정입니다.

본 판단은 측정 시점의 환경 조건을 근거로 한 것으로, 장비 Operating 조건 또는 설치 환경(인접 장비 증설, 공조,유틸리티 변경 등) 변동 시 진동 수준이 달라질 수 있으므로 환경 변화 시 재측정을 권장드립니다.

Z-axis — VC Curves