Tier-1 Semiconductor ZEISS Xradia Versa 730 DVIA-ULF1500 (260223R2) Installation Report
목차
고객사
Tier-1 Semiconductor
작성자
엔지니어: 이채원
설치 날짜 (표지)
26.05.07
보고서 작성일
26.05.14
개요
Tier-1 Semiconductor DSR C타워 3층 연구실에 설치된 DVIA-ULF1500 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned off 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULF1500
시리얼 넘버: 260223R2
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 날짜
2026년 5월 7일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor DSR C타워 3층 연구실
End User
Tier-1 Semiconductor
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: X-ray Microscope
Model: Xradia Versa 730
장비 스펙
VC-C
장비상태
장비 설치 및 Turned off
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 진동 스펙 | 바닥진동 | DVIA-ULF1500 | 바닥진동 결과 | DVIA-ULF1500 결과 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor DSR C타워 3층 연구실 1. 바닥진동 2. DVIA-ULF1500 | Turned off | Vertical | VC-C | VC-B @ 10 Hz | VC-D @ 10 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-E @ 10 Hz | VC-F @ 10 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| Front to Back | VC-D @ 25 Hz | VC-F @ 25 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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