YIMOTECH ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-ULFB700 Installation Report
Contents
개요
중국 우한(Wuhan) 현장에 DVIA-ULFB700을 설치한 뒤 튜닝과 진동 측정을 수행했습니다.
진동 측정은 장비를 Turned off 상태로 두고 진행했습니다.
측정 데이터는 VC Curve 형식으로 표현했으며, 진동 레벨 판단에 필요한 참고 자료를 함께 수록했습니다.
제진대
모델: DVIA-ULFB700
시리얼 넘버: 260203R2
엔지니어
Taehun KIM · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.08.04
End User
Hubei University of Technology
튜닝 횟수
1st
설치 장소
Wuhan
고객사 장비
제조사: ZEISS
장비명: FE-SEM
모델: Sigma 360
진동 스펙
Horizontal
| Frequency [Hz] | Allowable [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.04 |
| 10 | 0.04 |
| 10 | 0.17 |
| 20 | 0.17 |
| 20 | 0.3 |
| 70 | 0.3 |
| 70 | 2 |
| 100 | 2 |
Vertical
| Frequency [Hz] | Allowable [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.03 |
| 8 | 0.03 |
| 8 | 0.15 |
| 45 | 0.15 |
| 45 | 2 |
| 100 | 2 |
장비 상태
Turned off
Tuning Request
결론
DVIA-ULFB700(S/N 260203R2)의 튜닝을 2026.08.04에 진행하여 공압 설정과 각 축(Vertical, Left to Right, Front to Back)의 제어 게인을 조정했습니다. 장비를 Turned off 상태로 두고 진동을 측정한 결과, 세 축 모두에서 ZEISS가 Sigma 360 FE-SEM에 요구하는 진동 스펙을 만족했습니다. 이로써 DVIA-ULFB700이 설치 장비에 요구되는 제진 성능을 제공함을 확인했습니다.
측정 데이터 요약
Turned off
| Measurement Point | VibrationSpecifications | Axis | Result | |
|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-ULFB700 | |||
| 1. Floor 2. DVIA-ULFB700 | See Section 9 | Vertical | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
UI 프로그램 측정 데이터
Vertical Autospectrum
Left to Right Autospectrum
Front to Back Autospectrum
설치 사진
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기 등을 의미하며, 프로브 기술·AFM·나노기술과 연관된 이미징에 관한 것입니다.
이 표의 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 해당 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 조건을 잘 아는 전문가의 자문을 받을 것을 권장합니다.
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케이스 스터디 정보
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