Kunming Metallurgical Research Institute ZEISS Sigma 360 DVIA-ULFB700 Installation Report
목차
개요
Kunming에 DVIA-ULFB700 설치 후 진동 측정을 진행하였습니다.
장비가 IDLE 상태인 조건에서 진동 측정을 진행하였습니다.
데이터는 Autospectrum 형식으로 표기하였으며, 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진 시스템 정보
모델: DVIA-ULFB700
시리얼 넘버: 250107R2
엔지니어
대일시스템 김주혁
측정 날짜
2026.05.18
End User
Kunming Metallurgical Research Institute Co., Ltd
튜닝 횟수
2차
설치 장소
Kunming
장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: FE-SEM
Model: Sigma 360
진동 사양
Vertical
| 주파수 [Hz] | 허용치 [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1-8 | 0.03 |
| 8-45 | 0.15 |
| 45-100 | 2 |
Horizontal
| 주파수 [Hz] | 허용치 [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1-10 | 0.04 |
| 10-20 | 0.17 |
| 20-70 | 0.3 |
| 70-100 | 2 |
측정 요약
참고: Zeiss Sigma 360 Site Preparation Guide에 명시된 허용 진동 값은 가속도(mm/s² RMS) 기준으로 정의되어 있습니다. 측정 데이터는 속도(m/s RMS)로 취득되어 제조사 사양과 직접 비교가 어렵기 때문에, 가속도 기준 사양을 등가 속도 기준으로 환산한 후 환산값을 기준으로 PASS/FAIL 평가를 진행하였습니다.
| 측정 지점 | 진동 사양 | 방향 | 바닥 | DVIA-ULFB700 |
|---|---|---|---|---|
| 1. 바닥 2. DVIA-ULFB700 | 9항 참조 | Vertical | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✓ PASS | ✓ PASS |
측정 데이터
Vertical — Autospectrum
Left to Right — Autospectrum
Front to Back — Autospectrum
장비 사진
Reference
아래 표는 IEST-RP-CC012.2를 기준으로 진동 수준을 분류한 것입니다.
참고:
1. VC-A 및 VC-B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 주파수 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정한 값입니다.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서는 선폭, 의료·제약 연구에서는 입자(세포) 크기 등을 의미합니다.
3. 세부 크기는 프로브 기술, AFM, 나노기술 관련 이미징에는 적용되지 않습니다.
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케이스 스터디 정보
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