한국기계연구원 EL 고진공 챔버 DVIA-P1000 설치 보고서
Contents
개요
한국기계연구원 L2동 1층 연구실에 DVIA-P1000 설치 후 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
Turn off 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-P1000
시리얼 넘버: 250122R1-2
엔지니어
정성윤, 대일시스템
박규민, 대일시스템
튜닝 날짜
2026년 9월 22일
설치 장소
한국기계연구원 L2동 1층 연구실
End User
한국기계연구원
고객사 장비
제조사: 이엘
장비명: 고진공 챔버
모델: N/A
진동 스펙
N/A
장비 상태
Idle
진동 측정 장비
하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040
소프트웨어: B&K Pulse Labshop22 Version
Accelerometer: PCB 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 2400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
결론
한국기계연구원 L2동 1층 연구실에 설치된 고진공 챔버(제조사: 이엘)용 제진대 DVIA-P1000 (S/N: 250122R1-2)에 대하여 튜닝 및 진동 측정을 수행하였습니다.
배관 개선 및 제어 안정화: 이전 에어 배관을 다수 묶어 배치하였을 당시 특정 측의 압력 편차로 인해 원활한 배기(OUT)가 이루어지지 않아 정상적인 포지션(POS) 제어에 지장을 주던 문제를 해결하고자, 에어 배관을 각각 독립식으로 재연결하여 안정적인 공기압 공급 및 정밀 제어 환경을 구축하였습니다.
진동 측정 결과: Turn-off 상태에서 바닥 진동과 제진대(DVIA-P1000) 작동 후의 진동 수준을 축별로 측정하여 VC Curve로 비교 분석한 결과, 모든 축(수직/좌우/전후)에서 우수한 제진 성능이 확보된 것을 확인하였습니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-P1000 | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-P1000 | Section 8 참조 | Vertical (Z-axis) | VC-A | VC-E |
| Left to Right (X-axis) | VC-D | VC-E | ||
| Front to Back (Y-axis) | VC-D | VC-E | ||
측정 데이터
Vertical (Z-axis)
Z-axis — Autospectrum
Z-axis — VC Curves
Left to Right (X-axis)
X-axis — Autospectrum
X-axis — VC Curves
Front to Back (Y-axis)
Y-axis — Autospectrum
Y-axis — VC Curves
설치사진
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
비고:
1. 8~80 Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80 Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됩니다.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 라인폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다. 이는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에 해당합니다.
이 표에 제공된 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 사항에 대해 잘 알고 있는 전문가의 조언을 구하는 것이 좋습니다.
