한국기계연구원 고진공 챔버 DVIA-P2200 설치 보고서
Contents
개요
한국기계연구원 L2동 1층 연구실에 DVIA-P2200 설치 후 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
Turn off 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대 정보
모델: DVIA-P2200
시리얼 넘버: 250122R1-1
엔지니어
정성윤, 박규민, 대일시스템
튜닝 날짜
2026년 09월 22일
설치 장소
한국기계연구원 L2동 1층 연구실
End User
한국기계연구원
고객사 장비
제조사: 이엘
장비명: 고진공 챔버
모델: N/A
진동 스펙
N/A
장비 상태
Turn off
진동 측정 장비
Measurement Equipment
하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040
소프트웨어: B&K Pulse Labshop22 Version
Accelerometer
PCB 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 2400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
결론
한국기계연구원 L2동 1층 연구실에 설치된 고진공 챔버(제조사: 이엘)용 제진대 DVIA-P2200 (S/N: 250122R1-1)에 대하여 튜닝 및 진동 측정을 수행하였습니다.
배관 개선 및 제어 안정화: 이전 유사 사례에서 에어 배관을 다수 묶어 배치할 경우 특정 측의 압력 편차로 인해 원활한 배기(OUT)가 이루어지지 않아 정상적인 포지션(POS) 제어에 지장을 주던 문제를 사전 예방하고자, 에어 배관을 각각 독립식으로 재연결하여 안정적인 공기압 공급 및 정밀 제어 환경을 구축하였습니다.
진동 측정 결과: Turn-off 상태에서 바닥 진동과 제진대(DVIA-P2200) 작동 후의 진동 수준을 축별로 측정하여 VC Curve로 비교 분석한 결과, 모든 축(수직/좌우/전후)에서 우수한 제진 성능이 확보된 것을 확인하였습니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-P2200 | ||||
| 1. 바닥 2. DVIA-P2200 | N/A | 수직(Z-axis) | VC-B | VC-E | |
| 좌우(X-axis) | VC-D | VC-E | |||
| 전후(Y-axis) | VC-E | VC-E | |||
측정 데이터
수직(Z-axis)
Z-axis — Autospectrum
Z-axis — VC Curves
좌우(X-axis)
X-axis — Autospectrum
X-axis — VC Curves
전후(Y-axis)
Y-axis — Autospectrum
Y-axis — VC Curves
설치 사진
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. VC-A/B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz의 1/3 옥타브 대역에서 측정됩니다.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다. 이는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에 해당합니다.
