본문으로 바로가기
설치 보고서
DVIA-P Series
07-15-2025

KIMM EL High Vacuum Chamber DVIA-P2200 Installation Report

DVIA-P Series
Installation Report
KIMM
EL
High Vacuum Chamber
250122R1-1

개요

한국기계연구원 L2동 1층 연구실에 설치된 DVIA-P2200 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

장비 Turned off상태에서 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.

장비가 편심이 심한편이며 후면에 파이프가 바닥에 설치된 펌프와 연결되어 있습니다. 이는 튜닝 및 진동측정에 영향을 줄 수 있습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-P2200

시리얼 넘버: 250122R1-1

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

측정 날짜

2025년 07월 15일

설치 장소

한국기계연구원 L2동 1층 연구실

End User

한국기계연구원

고객사 장비

Manufacturer: 이엘

Equipment: 고진공 챔버

Model: N/A

장비 상태

장비설치/Turned off

진동 스펙

N/A

진동 측정 장비

10.1) Data Physics DAQ

-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

-Software: SignalCalc ACE

10.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Average Mode: Exponential, 40

결론

Vertical: 20 Hz에서 VC-B에서 VC-F까지 진동이 감쇠됩니다.

Left to Right: 31.5 Hz에서 VC-D에서 VC-G까지 진동이 감쇠됩니다.

Front to Back: 31.5 Hz에서 VC-D에서 VC-G까지 진동이 감쇠됩니다.

측정 데이터

측정 장소상태방향바닥진동DVIA-P2200
한국기계연구원 L2동 1층 연구실
1.Floor
2.DVIA-P2200
장비 Turned offVerticalVC-B
@ 20 Hz
VC-F
@ 20 Hz
Left to RightVC-D
@ 31.5 Hz
VC-G
@ 31.5 Hz
Front to BackVC-D
@ 31.5 Hz
VC-G
@ 31.5 Hz

데이터&이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

장비사진

참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일07-15-2025
태그
DVIA-P Series
Installation Report
KIMM
EL
High Vacuum Chamber
250122R1-1