KIMM EL High Vacuum Chamber DVIA-P2200 Installation Report
Contents
개요
한국기계연구원 L2동 1층 연구실에 설치된 DVIA-P2200 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned off상태에서 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.
장비가 편심이 심한편이며 후면에 파이프가 바닥에 설치된 펌프와 연결되어 있습니다. 이는 튜닝 및 진동측정에 영향을 줄 수 있습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-P2200
시리얼 넘버: 250122R1-1
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
2025년 07월 15일
설치 장소
한국기계연구원 L2동 1층 연구실
End User
한국기계연구원
고객사 장비
Manufacturer: 이엘
Equipment: 고진공 챔버
Model: N/A
장비 상태
장비설치/Turned off
진동 스펙
N/A
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Average Mode: Exponential, 40
결론
Vertical: 20 Hz에서 VC-B에서 VC-F까지 진동이 감쇠됩니다.
Left to Right: 31.5 Hz에서 VC-D에서 VC-G까지 진동이 감쇠됩니다.
Front to Back: 31.5 Hz에서 VC-D에서 VC-G까지 진동이 감쇠됩니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 바닥진동 | DVIA-P2200 |
|---|---|---|---|---|
| 한국기계연구원 L2동 1층 연구실 1.Floor 2.DVIA-P2200 | 장비 Turned off | Vertical | VC-B @ 20 Hz | VC-F @ 20 Hz |
| Left to Right | VC-D @ 31.5 Hz | VC-G @ 31.5 Hz | ||
| Front to Back | VC-D @ 31.5 Hz | VC-G @ 31.5 Hz |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
장비사진
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.


