도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
시리즈
장비 유형
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전체 도입사례
Huahong FAB 9 ASML E-beam 웨이퍼 검사 시스템 eScan460 DVIA-P4000 설치 보고서
Huahong FAB 9 ASML E-beam 웨이퍼 검사 시스템 eScan460용 DVIA-P4000(시리얼 240424R1) 설치 보고서. 2회차 튜닝; 튜닝 2026-05-28·보고서 작성 2026-06-01. Data Physics QUATTRO DAQ, 진동 사양 VC-D. 장비는 플랫폼에 설치된 IDLE 상태로 측정. 수직·좌우·전후 VC 곡선 게시. Word 표지 그림은 공개본 제외; Reference는 표준 VC 기준 마크다운 표만 게시.
Huahong Dongfang Jingyuan SEpA_i515 DVIA-P7000 설치 보고서
Huahong FAB 9 소재 Dongfang Jingyuan Electron Limited E-beam 웨이퍼 검사 시스템(SEpA_i515)용 DVIA-P7000 설치 보고서(시리얼 250131R4). 원본: DVIA-P7000_250131R4 installation report_26.05.27.docx; 2차 튜닝, 튜닝 2026-05-27, 보고서 작성 2026-06-01. 수직·좌우·전후 VC 곡선 게시. Word 상단 머리말 그림(image1)은 공개본 제외; Reference는 사이트 VC 기준 표로 대체(image5.emf 미게시).
HKSTP INNOPARK Dongfang Jingyuan DJEL CD SEM SepA-C310s DVIA-P4000 설치 보고서
홍콩 HKSTP INNOPARK 마이크로일렉트로닉스 센터(1 Fuk Wang Street)에 설치된 Dongfang Jingyuan Microelectronics DJEL CD SEM SepA-C310s용 DVIA-P4000 설치 보고서입니다(시리얼 250902R8). 대일시스템 김주혁 엔지니어가 2026년 6월 3일 1차 튜닝과 진동 측정을 진행했고, 보고서는 2026년 6월 15일에 작성됐습니다. 진동 스펙은 1~100 Hz 구간 VC-C, 100~200 Hz 구간 VC-D이며 바닥과 DVIA-P4000 모두 세 축 전부 PASS했습니다. 수직(Z축) 측정 2세트와 좌우(X축)·전후(Y축) 측정의 Autospectrum·VC Curves·Transmissibility 총 12장을 게시합니다. 표지의 DAEIL SYSTEMS 워드마크는 공개본에서 제외했습니다.
Huahong ASML eScan460 DVIA-P4000 설치 보고서
Hua Hong FAB 9 소재 ASML E-beam 웨이퍼 검사 시스템(eScan460)용 DVIA-P4000(시리얼 251215R5) 설치 보고서. 담당 엔지니어 이채원, 튜닝 2026년 5월 28일, 보고서 작성 2026년 6월 11일. 진동 사양 VC-D. 수직·좌우·전후 VC 곡선만 게시. Word 표지 그림(image1) 제외; 장비 사진은 원문 미제공; Reference는 표준 VC 기준 마크다운 표만 게시.
Ningbo University of Technology Hitachi High-Tech FE-SEM SU8600 DVIA-ML1000 설치 보고서
Ningbo University of Technology(중국 닝보)의 Hitachi High-Tech FE-SEM(SU8600)에 적용한 DVIA-ML1000(시리얼 250718R2) 설치 보고서입니다. 2026.06.05에 튜닝을 진행했으며, 수직·좌우·전후 방향으로 바닥과 DVIA-ML1000에서의 진동을 측정했습니다.
상하이과기대학(기술물리) DVIA-UB700(180927R1) 설치 보고서
상하이과학기술대학 물리(기술물리연구단, SITP) DVIA-UB700(S/N 180927R1) 진동 확인 워크시트입니다. 설치 장소 본관 1층, 설치 조정일 18.12.19·측정 2018.12.19·보고 18.12.26 원문 표기 준수. VC-Class 바닥·Above Active 요약표와 MB1000 내장 프로그램·옥타브 대역(Floor vs Above Active) Z/X/Y 그래프를 게시했으며 표지 블록용 이미지(image1·image2)는 제외했습니다.