도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
시리즈
장비 유형
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전체 도입사례
Tier-1 Semiconductor Advanced Institute CDSEM S-9220T DVIA-P2200 점검 보고서
Tier-1 Semiconductor Advanced Institute 수원 SAIT 클린룸 A동 CDSEM S-9220T 부설 DVIA-P2200(시리얼 140416R6-4) 점검·진동측정 보고서(2023년 12월 12일, 장비 IDLE). 센서 점검, 축별 Transmissibility·VC 곡선(21.12.15 비교 포함)을 게시하고 참고 VC 곡선은 마크다운 표만 제공합니다.
Tier-1 Semiconductor Advanced Institute Aligner MA-200C DVIA-P2200 점검 보고서
Tier-1 Semiconductor Advanced Institute 수원 SAIT 클린룸 A동 Aligner MA-200C DVIA-P2200 점검·진동 측정 보고서. 장비 IDLE 상태 Transmissibility·VC 곡선.
Tier-1 Semiconductor 화성 ZEISS AIMs 32 DVIA-P4000(180306R4) 점검 보고서
Tier-1 Semiconductor 화성 NRD line 8F ZEISS AIMs 32 적용 DVIA-P4000(시리얼 180306R4) 점검 보고서. AIMs IDLE·Power off 상태별 전달률·VC 곡선, 변위·가속도 센서 그래프 및 진동 요약 표를 게시합니다.
1차 반도체 Advantest E5610 DVIA-P4000 설치 보고서
화성 1차 반도체 V1 Line 3F Advantest E5610용 DVIA-P4000(시리얼 190724R2) 설치 보고서. 축별 VC 곡선·전달률 그래프를 게시하며, 참고자료 진동 허용 곡선은 마크다운 표만 제공합니다.
Tier-1 Semiconductor 화성 NRD AIMS 1x DVIA-P4000(190724R2) 설치 보고서
Tier-1 Semiconductor 화성 NRD Line 3F AIMS 1x 적용 DVIA-P4000(시리얼 190724R2) 설치 보고서. Floor/Active 진동 요약, 축별 VC 곡선(Top/Floor), 전달률 그래프를 게시하며 참고 VC 곡선은 마크다운 표만 제공합니다.
Tier-1 Semiconductor 화성 Hitachi CG6300 DVIA-P4000 설치 보고서
Tier-1 Semiconductor 화성 V1 Line 10F Hitachi CG6300용 DVIA-P4000(시리얼 220126R3) 설치 보고서. 튜닝 2022년 5월 27일, 담당 Youngha Lee. 주파수 대역별 VC 등급 요약 및 축별 VC 곡선(바닥·활성 제진대)을 게시합니다.