설치 보고서
DVIA-P Series
06-15-2026
YIMO Huahong FAB 9 ASML E-beam Wafer inspection system eScan460 DVIA-P4000 Installation Report
DVIA-P Series
Installation Report
YIMO
Huahong
ASML
eScan460
E-beam Wafer inspection system
DVIA-P4000
240424R1
Contents
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 240424R1
엔지니어
Chaewon Lee
튜닝 일자
2026-05-28
설치 위치
Huahong FAB 9
장비
제조사: ASML
장비: E-beam Wafer inspection system
모델: eScan460
장비 상태
The equipment was installed on the DVIA-4000 platform. IDLE
튜닝 시행 차수
2nd
측정 장비
8.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
8.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
측정 설정
Bandwidth: 200 Hz
Lines: 3200
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: Max
진동 사양
VC-D
결론
Based on the inspection results, DVIA-P4000 is operating normally. In addition, the measured vibration levels in all directions meet the required equipment vibration specifications.
측정 요약
| Measurement Point | Position | Axis | Vibration Specification | Measurement Data | Result |
|---|---|---|---|---|---|
| Huahong FAB 9 1. Floor 2. DVIA-P4000 | Floor | Vertical | VC-D | VC-C | ✗ FAIL |
| Floor | Left-Right | VC-D | VC-D | ✓ Pass | |
| Floor | Front-Back | VC-D | VC-E | ✓ Pass | |
| DVIA-P4000 | Vertical | VC-D | VC-E | ✓ Pass | |
| DVIA-P4000 | Left-Right | VC-D | VC-F | ✓ Pass | |
| DVIA-P4000 | Front-Back | VC-D | VC-F | ✓ Pass |
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Left to Right VC Curves
Front to Back VC Curves
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일06-15-2026
태그
DVIA-P Series
Installation Report
YIMO
Huahong
ASML
eScan460
E-beam Wafer inspection system
DVIA-P4000
240424R1
