설치 보고서
DVIA-P Series
05-21-2026
YIMO Huahong ASML E-beam Wafer inspection system eScan 460 DVIA-P4000 Installation Report
DVIA-P Series
Installation Report
YIMO
Huahong
ASML
eScan 460
E-beam Wafer inspection system
DVIA-P4000
240424R1
Contents
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 240424R1
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 일자
2024년 09월 12일
설치 위치
Huahong
장비
제조사: ASML
장비: E-beam Wafer inspection system
모델: eScan 460
장비 상태
The equipment was installed on the DVIA-P4000 platform. Turned off
튜닝 시행 차수
1st
측정 장비
8.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050
Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040
Software: B&K Pulse Labshop 22 Version
8.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
측정 설정
Bandwidth: 200 Hz
Lines: 800
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: Max
진동 사양
VC-D
결론
After the installation of the DVIA-P4000, floor vibration was reduced to within the vibration specification in all axes.
측정 요약
| 측정 지점 | 상태 | 축 | 진동 사양 | 측정 데이터 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-P4000 | 바닥 | DVIA-P4000 | ||||
| FAB 1. Floor 2. DVIA-P4000 | Equipment is installed and turned off. | Vertical | 6.25E-06 m/s (VC-D) | 9.03E-06 m/s @ 6.3 Hz | 1.10E-06 m/s @ 6.3 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | 6.25E-06 m/s (VC-D) | 3.20E-06 m/s @ 2 Hz | 1.23E-06 m/s @ 2 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | 6.25E-06 m/s (VC-D) | 4.75E-06 m/s @ 5 Hz | 4.61E-07 m/s @ 5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Left to Right VC Curves
Front to Back VC Curves
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일05-21-2026
태그
DVIA-P Series
Installation Report
YIMO
Huahong
ASML
eScan 460
E-beam Wafer inspection system
DVIA-P4000
240424R1
