설치 보고서
DVIA-P Series
09-03-2024
YIMO ASML eScan 460 DVIA-P4000 Operation Report
DVIA-P Series
Installation Report
YIMO
ASML
eScan 460
E-beam Wafer inspection system
DVIA-P4000
240424R1
Contents
고객
YIMO Technology
엔지니어
Chaewon Lee
보고서 작성일
24.09.03
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 240424R1
설치 위치
Wuxi, China
장비
제조사: ASML
장비: E-beam Wafer inspection system
모델: eScan 460
장비 상태
The equipment was uninstalled
진동 사양
VC-D in all axes
결론
본 보고서는 설치 후 DVIA-P가 정상적으로 작동하는지 확인하기 위한 것입니다.
센서 데이터를 확인한 결과, 정상 작동함이 확인되었습니다.
데이터 및 이미지
상판 가속도계 센서
바닥 가속도계 센서
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일09-03-2024
태그
DVIA-P Series
Installation Report
YIMO
ASML
eScan 460
E-beam Wafer inspection system
DVIA-P4000
240424R1
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