설치 보고서

DVIA-P Series

09-19-2024

Huahong ASML eScan 460 DVIA-P4000 Installation Report

DVIA-P Series

Installation Report

Huahong

YIMO

ASML

eScan 460

E-beam Wafer inspection system

DVIA-P4000

240424R1

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-P4000

시리얼 넘버: 240424R1

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

튜닝 일자

2024년 09월 12일

설치 위치

Huahong

장비

제조사: ASML

장비: E-beam Wafer inspection system

모델: eScan 460

장비 상태

The equipment was installed on the DVIA-P4000 platform. Turned off

튜닝 시행 차수

1st

측정 장비

8.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050

Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040

Software: B&K Pulse Labshop 22 Version

8.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

측정 설정

Bandwidth: 200 Hz

Lines: 800

Averaging: Spectrum Averaging

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Overlap: Max

진동 사양

VC-D

결론

After the installation of the DVIA-P4000, floor vibration was reduced to within the vibration specification in all axes.

측정 요약

측정 지점	상태	축	진동 사양	측정 데이터		결과
측정 지점	상태	축	진동 사양	바닥	DVIA-P4000	바닥	DVIA-P4000
FAB 1. Floor 2. DVIA-P4000	Equipment is installed and turned off.	Vertical	6.25E-06 m/s (VC-D)	9.03E-06 m/s @ 6.3 Hz	1.10E-06 m/s @ 6.3 Hz	✗ FAIL	✓ PASS
		Left to Right		3.20E-06 m/s @ 2 Hz	1.23E-06 m/s @ 2 Hz	✓ PASS	✓ PASS
		Front to Back		4.75E-06 m/s @ 5 Hz	4.61E-07 m/s @ 5 Hz	✓ PASS	✓ PASS

데이터 및 이미지

Vertical VC Curves

Vertical Narrow Band

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Narrow Band

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Narrow Band

Front to Back Transmissibility

참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-P Series

작성일09-19-2024

태그

DVIA-P Series

Installation Report

Huahong

YIMO

ASML

eScan 460

E-beam Wafer inspection system

DVIA-P4000

240424R1

Huahong ASML eScan 460 DVIA-P4000 Installation Report

Contents

진동 제어 시스템 정보

엔지니어

튜닝 일자

설치 위치

장비

장비 상태

튜닝 시행 차수

측정 장비

측정 설정

진동 사양

결론

측정 요약

데이터 및 이미지

Vertical VC Curves

Vertical Narrow Band

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Narrow Band

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Narrow Band

Front to Back Transmissibility

참고자료

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