도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
시리즈
장비 유형
제조사
전체 도입사례
한양대학교 ZEISS Sigma 300 DVIA-UB700 설치 보고서
한양대학교(서울) ZEISS SEM Sigma 300 장비 DVIA-UB700 (시리얼 221024R4, 910×1140×139H mm) 설치·튜닝 보고서. DAEIL SYSTEMS 천승훈, 튜닝 2022-12-15, 작성일 2022-12-19. Data Physics Quattro / SignalCalc ACE, FFT 0–80 Hz(Hanning, 800 line). 진동 결과 요약(장비 전원 꺼짐) 표는 원문 바닥/능동(Active) VC 등급. 장비 오프 상태 Floor·Top VC 및 전달률 플롯 9종 게시. 표지 장식용 헤더 bitmap 생략, Reference VC 표준 곡선은 업로드 대신 고정 표.
Tier-1 Semiconductor 2층 클린부스 DVIA-ULF700(250708R1-1) 설치 보고서
Tier-1 Semiconductor 2층 클린부스 자제 장비(Equipment "-")용 DVIA-ULF700(시리얼 250708R1-1) 튜닝·진동측정(측정 2025-11-04, 표지 작성일 2025-11-04). 장비 Turned on/IDLE·로터리 펌프 가동 상태. Data Physics DAQ·UI Program 측정 요약표와 3축 VC·Autospectrum·Transmissibility(각 DAQ/UI)를 게재하며 참고 VC는 표만 제공합니다.
Tier-1 Semiconductor ZEISS Xradia Versa 730 DVIA-ULF1500(260223R2) 설치 보고서
Tier-1 Semiconductor DSR C타워 3층 연구실 ZEISS Xradia Versa 730(장비 스펙 VC-C)용 DVIA-ULF1500(시리얼 260223R2) 튜닝·진동측정(2026-05-07, 보고서 작성 2026-05-14). 장비 설치 및 Turned off 상태 3축 VC·Autospectrum·Transmissibility 9장 및 VC-C 대비 PASS/FAIL 측정 요약표. 참고 VC는 표만 제공.
표준과학연구원 FE SEM UB700 진동 측정 보고서 (2016-06-21)
한국표준과학연구원(KRISS) 자체 개발 FE SEM 대상 UB700 진동 측정 보고서입니다. 작성일 2016.06.21, 작성자 대일시스템 임종욱 주임. 장비 사진, BASE/TOP 센서 배치 모형도, VC-Class 요약표(ACTIVE Z/X/Y), 진동환경 Z/X/Y 1/3 옥타브 플롯을 게시했습니다.
표준과학연구원 FE SEM UB700 P1 셋업 결과 보고서 (2016-06-20)
한국표준과학연구원(KRISS) 자체 개발 FE SEM 대상 UB700 P1 셋업 결과 보고서입니다. 출장 16.06.20(최형문·김두현·임종욱), 작성일 2016.06.20. VC-Class Base/Top 요약표, 장비 사진, UB700 내장 프로그램 Z/X/Y 및 진동환경 측정 Z/X/Y 그래프를 게시했으며, 표지 헤더용 비트맵(image1)은 제외했습니다.
티어1 반도체 수원 Nikon NSR-2205i12D DVIA-P7000 점검 보고서
티어1 반도체 수원 SAIT 클린룸 A동 DVIA-P7000(140416R6-1) Nikon NSR-2205i12D 스테퍼 IDLE 상태 점검. VC 요약 표, 전달률 플롯, 2023년 4월 Turn off 비교 곡선.