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설치 보고서
DVIA-M Series
06-17-2026

Kunshan DeKaiYiTe ZEISS Sigma 360 SEM DVIA-ML1000 Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Kunshan DeKaiYiTe
ZEISS
Sigma 360
SEM
DVIA-ML1000
260107R6
Kunshan

Contents

개요

DVIA-ML1000을 쿤산에 설치한 후 튜닝 및 진동 측정을 수행했습니다.

진동 측정은 장비가 IDLE 상태에서 수행되었습니다.

데이터는 Autospectrum 형식으로 표현되며, 진동 수준에 대한 참고 자료가 함께 제공됩니다.

진동 제어 시스템 정보

Model: DVIA-ML1000

Serial Number: 260107R6

엔지니어

Chaewon Lee, DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2026년 06월 17일

End User

Kunshan DeKaiYiTe

튜닝 횟수

2nd

설치 위치

Kunshan

장비

Manufacturer: ZEISS

Equipment: SEM

Model: Sigma 360

진동 사양

Vertical

Frequency [Hz]Allowable [mm/s² RMS]
1-80.03
8-450.15
45-1002

Horizontal

Frequency [Hz]Allowable [mm/s² RMS]
1-100.04
10-200.17
20-700.3
70-1002

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

Tuning Request

측정 요약

Measurement PointVibration SpecificationsAxisFloorDVIA-ML1000
1. Floor
2. DVIA-ML1000		See Section 9Vertical✗ FAIL✓ PASS
Left to Right✗ FAIL✓ PASS
Front to Back✗ FAIL✓ PASS

측정 데이터

Vertical Autospectrum

Left to Right Autospectrum

Front to Back Autospectrum

참고자료

아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준 진동 수준을 분류한 것입니다.

기준 곡선설명진폭(μm/s) (μin/s)세부 크기(μm)
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간, 컴퓨터 장비, 병원 회복실, 반도체 프로브 테스트 장비, 40배 미만 현미경에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 대부분의 수술실, 100배율 이하 현미경 및 기타 저민감도 장비에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울, 근접·투영 정렬 장비 등에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피(스테퍼 포함) 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 세부 크기의 리소그래피·검사 장비(중간 민감도 전자현미경 포함), TFT-LCD 스테퍼/스캐너 공정에 적합한 표준.12.5 (500)1-3
VC-D전자현미경(SEM/TEM), E-Beam 시스템 등 까다로운 장비 대부분에 적합.6.25 (250)0.1-0.3
VC-E달성하기 까다로운 기준. 장경로·레이저 기반·소형 타겟 시스템, 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 극도로 까다로운 민감 시스템에 적합할 것으로 가정.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장.0.78 (31.3)N/A

참고:

1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일06-17-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Kunshan DeKaiYiTe
ZEISS
Sigma 360
SEM
DVIA-ML1000
260107R6
Kunshan

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