도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
시리즈
장비 유형
제조사
전체 도입사례
Yimo Tech Hitachi CG6300 DVIA-P4000(220126R3) 설치 보고서
Yimo Tech 현장 Hitachi CG6300 적용 DVIA-P4000(시리얼 220126R3) 설치 보고서. 튜닝 2022년 5월 27일, VC 요약 표 및 Z/X/Y 축별 바닥·능동 제진대 VC 곡선을 게시합니다. 참고 자료는 일반 진동 기준 마크다운 표만 제공합니다.
Tier-1 Semiconductor 평택 EUV 라인 ADVANTEST E5620 DVIA-P4000 설치 보고서
Tier-1 Semiconductor 평택 P3 라인 ADVANTEST E5620 및 DVIA-P4000(시리얼 220617R5). 튜닝 2023년 11월 1일. 진동 결과 요약은 주파수 대역별 VC 등급 문자 표기, 축별 전달률·VC 곡선. 참고는 일반 진동 기준 표만 게시.
성균관대학교 Raith EBPG5150 DVIA-P4000 점검 보고서
성균관대학교 연구동 3F 클린룸 Raith EBPG5150용 DVIA-P4000(시리얼 220714R4) 점검 보고서. 2023년 11월 28일 Caution VIB LED 및 Z축 발진에 대한 Feedback·Feedforward 재튜닝. VC 요약 표, 축별 전달률·VC 곡선을 게시하며, 참고자료는 일반 진동 기준 마크다운 표만 제공합니다.
성균관대학교 Raith EBPG5150 DVIA-P4000 점검 보고서
성균관대학교 연구동 3F 클린룸 Raith EBPG5150용 DVIA-P4000(시리얼 220714R4) 점검 보고서. 점검일 2024년 2월 19일, Data Physics QUATTRO·SignalCalc ACE. Active on·Float off VC 요약표 및 Floor·제진대·장비 Cover·Top 측정점 축별 VC 곡선을 게시합니다.
Tier-1 Semiconductor 화성 NRD AIMS 1x DVIA-P4000 설치 보고서
화성 NRD Line 3F AIMS 1x용 DVIA-P4000(시리얼 220804R2) 설치 보고서. 축별 VC 곡선·전달률 그래프를 게시하며, 참고자료 진동 허용 곡선은 마크다운 표만 제공합니다.
Tier-1 Semiconductor 화성 NRD Line AlMs 1x DVIA-P4000(220804R2) 설치 보고서
Tier-1 Semiconductor 화성 NRD Line 3F AlMs 1x 적용 DVIA-P4000(시리얼 220804R2) 설치 및 진동 측정 보고서. 측정 요약 표와 수직·좌우·전후 VC 곡선 및 전달률 플롯을 게시.