도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
시리즈
장비 유형
제조사
전체 도입사례
한국나노기술원 JEOL JBX-8100FS DVIA-P2200 설치 보고서
한국나노기술원 2F 나노 리소/패턴 지원라인(광교) JEOL JBX-8100FS 전자빔 리소그래피 장비용 DVIA-P2200(시리얼 240304R5) 설치 보고서. 2024년 7월 1일 장비 Turned off 상태에서 SET-UP·튜닝·진동측정, 담당 엔지니어 이채원. 게시 그림: 장비 진동 스펙 및 축별 VC·Narrowband·Transmissibility. 참고자료는 일반 진동 기준 마크다운 표만 제공합니다.
Tier-1 Semiconductor 평택 P2 EUV ADVANTEST E5610 DVIA-P4000 설치 보고서
Tier-1 Semiconductor 평택 P2 EUV 라인 ADVANTEST E5610 및 DVIA-P4000(시리얼 240405R2). 튜닝 2024년 6월 28일. 축별 VC·전달률 플롯. 참고는 일반 진동 기준 표만 게시.
YIMO Huahong ASML E-beam 웨이퍼 검사 시스템 eScan 460 DVIA-P4000 설치 보고서
YIMO 경로 Huahong ASML E-beam 웨이퍼 검사 시스템 eScan 460용 DVIA-P4000 설치 보고서(시리얼 240424R1). 튜닝 2024-09-12; 보고서 작성 2024-09-19. 장비는 플랫폼에 설치된 상태에서 전원 off로 측정. 수직·좌우·전후 VC 곡선 게시. Word 표지 그림은 공개본 제외; Reference는 표준 VC 기준 마크다운 표만 게시.
토판 포토마스크 CLB KLA LMS IPRO4 DVIA-P4000(240607R3) 설치 보고서 — 2024년 9–10월 점검
토판 포토마스크 CLB KLA LMS IPRO4 적용 DVIA-P4000(시리얼 240607R3) 2024년 9–10월 방문 점검 보고서. Vib LED·상부 이미지·그레이팅 진동 이슈 대응. 진동 스펙 그림 게시.
Toppan Photomasks CLB KLA Reticle Pattern Placement Metrology LMS IPRO4 DVIA-P4000(240607R3) 설치 보고서
Toppan Photomasks CLB KLA LMS IPRO4 적용 DVIA-P4000(시리얼 240607R3) 튜닝·진동 측정 보고서. 진동 스펙 및 축별 바닥 진동 허용 곡선을 게시합니다.
한국나노기술원 JEOL JBX-8100FS DVIA-P2200 설치 보고서
한국나노기술원 2F 나노 리소/패턴 지원라인 JEOL JBX-8100FS 전자빔 리소그래피 DVIA-P2200(240705R1) 튜닝·진동 측정 보고서(2025년 1월 10일). 진동 스펙 도면, 축별 VC·Autospectrum·Transmissibility, 측정 데이터 표, 장비 사진 포함.