설치 보고서
DVIA-P Series
05-21-2026
Toppan Photomasks CLB KLA Reticle Pattern Placement Metrology LMS IPRO4 DVIA-P4000 (240607R3) Installation Report
DVIA-P Series
Installation Report
Toppan Photomasks
KLA
LMS IPRO4
DVIA-P4000
240607R3
Contents
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 240607R3
엔지니어
Daehyun Kim
튜닝 날짜
2024년 10월 02일
설치 장소
Toppan Photomasks CLB
고객사 장비
Manufacturer: KLA
Equipment: Reticle Pattern Placement Metrology
Model: LMS IPRO4
장비 상태
The equipment was installed on the DVIA-P4000 platform and under set-up
튜닝 횟수
4th
진동 측정 장비
8.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050
-Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040
-Software: B&K Pulse Labshop 22 Version
8.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
Bandwidth: 200 Hz
Lines: 800
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s2
Window: Hanning
Overlap: Max
진동 스펙
결론
The measured vibration at top (upper) pad of DVIA-P4000 satisfy the vibration specification in all axes.
데이터&이미지
Limits for Floor Vibrations (Z-amplitude)
Limits for Floor Vibrations (X-amplitude)
Limits for Floor Vibrations (Y-amplitude)
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일05-21-2026
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Toppan Photomasks
KLA
LMS IPRO4
DVIA-P4000
240607R3
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