Topan Photomask CLB KLA LMS IPRO4 DVIA-P4000 (240607R3) Inspection Report — September–October 2024

제진대 상부 장비 Turned on 상태 2차 튜닝 이후 컨트롤러의 Vib LED 가 점등하며, 컨트롤러 Turned off/on 이후에도 계속 점등된다는 고객사 내용 접수 후 방문 점검 실시 (09/30, 10/04)

제진대 상부 장비의 Image 가 흔들리며, 제진대 인근 그레이팅의 진동이 그대로 전달되는 것 같다는 고객사 내용 접수 후 방문 점검 실시 (10/02)

모델: DVIA-P4000

시리얼 넘버: 240607R3

대일시스템 개발팀 김대현

2024년 09월 30일 (이채원 동행)

2024년 10월 02일 (유호상 동행)

2024년 10월 04일 (유호상 동행)

토판 포토마스크 CLB

Manufacturer: KLA

Equipment: Reticle Pattern Placement Metrology

Model: LMS IPRO4

제진대 위에 장비 안착, 턴온 (Turned on) 및 Setup 중

컨트롤러의 Vib LED 점등에 대해서는 Gain 조절하여 마진 증대 (제진대 상부 장비가 Setup 중인 관계로 총 무게, 무게 중심 위치/높이 등이 심하게 변할 경우 또 다시 점등할 수 있음을 고지함 ← 방문 대응 필요)

상부 장비의 Image 흔들림에 대해서는 당사 제진대 상부 패드의 진동 측정값이 진동 Spec 을 만족한다는 보고서 및 측정 Data 송부 완료

제진대와 인근 그레이팅 간의 유격 위에 안착 되어 있는 아크랄 판 제거 시 인근 그레이팅의 진동 유입 개선됨 확인

1) 09월 30일 점검 내용

Z축 Gain 조절로 마진 증대 ( X/Y축 미세 튜닝으로 성능 향상)

2) 10월 02일 점검 내용

전반적 성능 점검 및 튜닝 후 진동 측정하였으며 진동 측정치는 고객사에 송부 완료 (진동 Spec 만족)

제진대 상부 패드와 인근 그레이팅 사이의 유격 위에 아크릴 판이 안착되어 있어 영향성 파악 목적으로 아크릴 판 제거 후 진동 유입 확인 시 개선됨 확인

3) 10월 04일 점검 내용

Z축 Gain 조절로 마진 증대 ( X/Y축 미세 튜닝으로 성능 향상)

제진대 상부 장비가 Setup 중인 관계로 제진대 상부의 총 무게, 무게 중심의 위치/높이 등이 심하게 변할 경우 또 다시 점등할 수 있음을 고객사에 고지함 ← 방문 대응 필요