도입사례

한국나노기술원 2F 나노 리소/패턴 지원라인 DVIA-P2200(시리얼 240705R1) 튜닝·진동측정 보고서. JEOL JBX-8100FS 전자빔 리소그래피 장비, 튜닝일 2024년 10월 29일, 대일시스템 이채원. 장비 사진·진동 스펙·축별 VC/Narrowband/Transmissibility·Control Unit 비교 그래프 게시. 참고자료는 일반 진동 기준 마크다운 표만 제공합니다.

Tier-1 Semiconductor DSR 통합선행기술Lab DVIA-C-P2200(240927R4) 장비 미설치 상태 튜닝·진동측정 보고입니다. 축별 VC 곡선, Auto spectrum, Transmissibility 그래프를 게시합니다.

LB 세미콘 평택 P2 라인 노드슨 Auto Shear Integra 4800 및 DVIA-P2200(21223R2) 장비 안착 전 튜닝·측정 보고입니다. 축별 VC 곡선, Auto spectrum, Transmissibility 그래프를 게시합니다.

Kunming Metallurgical Research Institute Co., Ltd(Kunming)의 ZEISS Sigma 360 FE-SEM용 DVIA-ULFB700 설치 보고서 — DVIA-ULFB700 설치 후 장비가 IDLE 상태인 조건에서 진동 측정을 진행하였습니다. Vertical 축은 바닥에서는 FAIL이었으나 DVIA-ULFB700 위에서는 PASS하였고, Left to Right와 Front to Back 축은 바닥과 제진대 모두에서 PASS하였습니다. ZEISS Sigma 360 사양은 가속도 기준으로 정의되어 있는 반면 데이터는 속도로 취득되었기 때문에, 사양을 등가 속도 기준으로 환산하여 PASS/FAIL 평가를 진행하였습니다. 축별 Autospectrum 데이터와 설치 사진이 게재되어 있습니다.

Greater Bay Area Quantum Center(중국 광둥) ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-ULF700 설치 보고서 — 설치 후 장비 IDLE 상태에서 진동을 측정하고 Autospectrum 형식으로 표기. DVIA-ULF700 플랫폼에서는 수직·좌우·전후 3축 모두 PASS, 바닥에서는 수직·전후 축이 FAIL이고 좌우 축은 PASS. 축별 Autospectrum 데이터와 설치 사진을 게시.

Greater Bay Area Quantum Center(중국 선전) ZEISS FE-SEM Sigma 360 현장 DVIA-ULF700(S/N 251110R7) 설치 보고서. 진동 사양도와 UI 프로그램 측정(VC·Autospectrum·Transmissibility), 장비 사진.