Sungkyunkwan University Raith EBPG5150 DVIA-P4000 Inspection Report
Contents
개요
Raith EBPG5150 장비 자체 진동 측정 중 모든 방향으로 60 Hz에서 5 nm이상의 진동이 감지되어 점검 요청받았습니다.
DVIA-P4000을 PC와 연결하여 UI Program을 이용하여 점검, 최적화 튜닝작업을 진행했습니다.
Data physics QUATTRO 진동 측정 장비를 이용하여 문제 진동원 분석 및 진동 상태를 측정했습니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 220714R4
엔지니어
Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS
작성: Youngha Lee, Chaewon Lee (튜닝 날짜 24.02.19; 보고서 작성일 24.02.22)
점검 일자
2024년 2월 19일
보고서 작성일
2024년 2월 22일
튜닝 횟수
3회차 (Setup: 1회(2023.02.03), 점검: 1회(2023.11.28))
설치 위치
성균관대학교 연구동 3F C/R, 수원
장비
Raith EBPG5150
장비 상태
Equipment is installed, Idle
측정 장비
9.1) Data Physics
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
9.2) Measurement Setting
Bandwidth: 1 - 80Hz
Lines: 800
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
9.3) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
9.4) Measurement Method
상부(Top plate), 하부(Floor)에 진동 측정용 가속도 센서를 부착합니다.
Vertical, Left to Right, Front to Back 방향으로 진동을 측정합니다.
측정 Data를 VC Curve Graph에 표기하였습니다.
진동 결과 요약
Active on
| 측정 지점 | Vertical 1-10 Hz | Vertical 12.5-80 Hz | Left to Right 1-10 Hz | Left to Right 12.5-80 Hz | Front to Back 1-10 Hz | Front to Back 12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | F | C | F | E | F | F |
| DVIA-P4000 | F | C | F | D | G | E |
| Equipment Cover | F | C | F | C | E | C |
| Equipment Top | E | F | F | F | F | F |
Float off
| 측정 지점 | Vertical 1-10 Hz | Vertical 12.5-80 Hz | Left to Right 1-10 Hz | Left to Right 12.5-80 Hz | Front to Back 1-10 Hz | Front to Back 12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | E | B | F | E | F | D |
| DVIA-P4000 | E | A | F | B | F | B |
| Equipment Cover | F | A | F | A | F | A |
| Equipment Top | E | F | F | F | G | F |
결론
장비 IDLE 상태로 점검 진행하여 장비 진동이 측정될 수 있습니다.
(정확한 점검 및 튜닝을 위해서는 장비 Turn off가 필요합니다.)
진동 측정 결과 Floor 진동보다 DVIA-P4000에서 진동이 증가하는데, 측정되는 진동들은 Equipment Cover에서 발생하는 진동으로 판단됩니다.
제진대 완전한 Turn off(Float off) 시 DVIA-P4000 상판의 진동이 증가합니다. 제진대가 장비 진동을 정상적으로 감쇠하고 있음을 나타냅니다.
요청받은 주파수의 진동은 60Hz로 제진대 점검 시에는 확인되지 않았습니다. Raith 장비 내부적인 진동 유발 점검, 전기 노이즈 점검이 필요하다고 판단됩니다.
데이터 및 이미지
Active on
Vertical VC curves
Floor
DVIA-P4000
Equipment Cover
Equipment Top
Left to Right VC curves
Floor
DVIA-P4000
Equipment Cover
Equipment Top
Front to Back VC curves
Floor
DVIA-P4000
Equipment Cover
Equipment Top
Float off
Vertical VC curves
Floor
DVIA-P4000
Equipment Cover
Equipment Top
Left to Right VC curves
Floor
DVIA-P4000
Equipment Cover
Equipment Top
Front to Back VC curves
Floor
DVIA-P4000
Equipment Cover
Equipment Top
참조
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8–80 Hz 1/3 옥타브 밴드, VC-C~VC-G는 1–80 Hz 1/3 옥타브 밴드 기준입니다.
2. Detail size는 반도체 라인폭 또는 의료 연구 입자 크기를 뜻합니다.
