Korea Nano Technology Institute JEOL JBX-8100FS DVIA-P2200 Installation Report
Contents
개요
한국나노기술원에 설치된 DVIA-P2200 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태에서 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.
24.10.29일 튜닝 및 진동측정 시 장비의 Control Unit에서 발생하는 78 Hz의 진동으로 인해 Spec out되는 대역대가 생겼습니다. 이번 튜닝 및 진동측정 시 Control Unit Turned off 상태로 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P2200
시리얼 넘버: 240705R1
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원, 서종화
측정 날짜
2025년 01월 10일
설치 장소
한국나노기술원 2F 나노 리소/패턴 지원라인
End User
한국나노기술원
장비 상태
장비설치/IDLE
고객사 장비
Manufacturer: JEOL
Equipment: Electron Beam Lithography
Model: JBX-8100FS
진동 스펙
no HWL - V : VC-F, H: VC-G
With HWL - V : VC-E, H: VC-F
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Average Mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 장비스펙 | 하부패드 | DVIA-P2200 | 하부패드 | DVIA-P2200 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 나노/리소패턴 지원라인 1.하부패드 2.DVIA-P2200 | 장비 Turned on/IDLE | Vertical | 1.13E-05 m/s – 1.70E-06 m/s @ 16 Hz - 100 Hz | VC-E @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | 1.13E-05 m/s – 1.70E-06 m/s @ 16 Hz - 100 Hz | VC-E @ 20 Hz | VC-G @ 20 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | 1.13E-05 m/s – 1.70E-06 m/s @ 16 Hz - 100 Hz | VC-E @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
장비 사진
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
