Tier-1 Semiconductor Advanced Institute JEOL JBX-8100FS DVIA-P2200 Installation Report
Contents
개요
삼성종합기술원 B동 1층 클린룸 연구실에 설치된 DVIA-P2200 점검 진행하였습니다.
점검 진행 시 기능상의 문제는 없었지만, 에어 압력이 다소 낮은 상황이었습니다. 장비의 안정적인 운용을 위해 추후 에어 압력을 높이는 것을 권장드립니다.
점검 진행 시 성능이 다소 떨어져 있어 재튜닝 진행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P2200
시리얼 넘버: 1812032R1
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 날짜
2026년 4월 24일
설치 장소
삼성종합기술원 B동 1층 클린룸 연구실
End User
삼성종합기술원
고객사 장비
Manufacturer: JEOL
Equipment: Electron Beam Lithography System
Model: JBX-8100FS
장비 스펙
장비상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 진동 스펙 | Grating | DVIA-P2200 | Grating | DVIA-P2200 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 삼성종합기술원 B동 1층 클린룸 연구실 1. Grating 2. DVIA-P2200 | Turned on/IDLE | Vertical | 8번 항목 참고 | 19.4 @ 58.2 Hz | 0.079 @ 58.2 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | 14.4 @ 58 Hz | 0.201 @ 58 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| Front to Back | 15.2 @ 17.7 Hz | 1.7 @ 17.7 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8–80 Hz 1/3 옥타브 밴드에서 측정하고, VC-C~VC-G는 1–80 Hz에서 측정합니다.
2. 디테일 사이즈는 반도체 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
