UNIST JEOL JBX-8100FS DVIA-P2200 Installation Report
Contents
개요
울산과학기술원 설치된 DVIA-P2200 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned off 상태에서 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P2200
시리얼 넘버: 240910R3
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원, 서종화
측정 날짜
2025년 01월 15일
설치 장소
UNIST 108동 B1F Line
수신자
JEOL KOREA
최종 사용자
울산과학기술원
장비 상태
장비설치/Turned off
고객사 장비
Manufacturer: JEOL
Equipment: Electron Beam Lithography
Model: JBX-8100FS
장비 진동 스펙
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Average Mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | Spec | 측정값 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-P2200 | 바닥 | DVIA-P2200 | ||||
| UNIST 108동 B1F Line 1.바닥 2.DVIA-P2200 | Turned off | Vertical | VC-E | VC-E @ 16 Hz | VC-G @ 16 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-F | VC-F @ 1 Hz | VC-G @ 1 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | VC-F | VC-F @ 1 Hz | VC-G @ 1 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Narrowband
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Narrowband
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Narrowband
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B is measured in 1/3 octave bands from 8-80 Hz, VC-C through VC-G from 1-80 Hz.
2. Detail size refers to line widths in microelectronics manufacturing or particle sizes in medical research.
