도입사례

(엔드유저 Ruijin Hospital, 중국 상하이) Hitachi High-Tech HT7800 투과전자현미경(TEM) DVIA-ML1000 설치 보고서 — 액티브 제진 플랫폼이 전 축에서 진동 사양을 만족(수직·좌우·전후 전 축이 바닥·DVIA-ML1000 모두 PASS). 축별 Autospectrum, 튜닝 요청서, 설치 사진을 게시.

J&L Tech 안산지사 개발실에 설치된 잔류응력측정기(국책과제 · 에스피시스템즈 & J&L Tech)의 DVIA-ULF1500 설치 보고서입니다. 설치 후 장비 설치 및 Turned On 상태로 튜닝과 진동 측정을 진행하였습니다. 바닥은 3축 모두 VC-C 수준이었으나, 제진대 상부(DVIA-ULF1500)에서는 수직(Z축)이 VC-G, 좌우(X축)·전후(Y축)가 VC-E까지 낮아졌습니다. 축별 Autospectrum·VC Curves와 장비 사진을 게시합니다.

1차 전자부품 제조사 B1 1F Clean Room BGA PSP 도금두께 측정기 DVIA-P2200 설치 보고서 — IDLE 상태에서 튜닝·진동 측정. 바닥/제진대 전 축에서 VC-B 만족.

TF AMD Microelectronics(말레이시아 페낭) TESCAN AMBER X GMH FIB-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 액티브 제진 플랫폼이 전 축에서 진동 사양을 만족(바닥 수직은 FAIL이나 DVIA-ML1000 플랫폼은 PASS). 축별 Autospectrum·VC Curves·Transmissibility 게시.

한국과학기술연구원(KIST) L3동 1F Line JEOL JBX-A9 E-Beam Lithography DVIA-P4000 설치 보고서 — 장비 Turned On, IDLE 상태에서 진동 측정. 수직·좌우·전후 전 축이 바닥과 DVIA-P4000 제진대 모두 PASS. 현장 공압 공급 불안정으로 최대 성능보다 장기 운용 안정성을 중점으로 튜닝.

중국 상하이의 Epin Instruments Technology Co., Ltd.에 를 통해 공급된 STM용 DVIA-MO1000 설치 보고서입니다. 제진대 시리얼은 241101R2이며, 2026년 6월 22일에 2차 튜닝을 진행하고 같은 날 보고서를 작성했습니다. 해당 현장에는 공식적으로 정해진 진동 사양이 없어 보고서에도 그대로 기재되어 있습니다. 측정 요약을 보면 바닥은 수직 VC-C, 좌우 VC-F, 전후 VC-E 수준이었고, 제진 플랫폼 위에서는 수직 VC-F, 좌우·전후 모두 VC-G까지 낮아졌습니다. 세 축의 Autospectrum·VC Curves·Transmissibility 그래프 아홉 장과 플랫폼 위에 설치된 STM 장비 사진을 함께 게시합니다.