Korea Institute of Science and Technology JEOL JBX-A9 E-Beam Lithography DVIA-P4000 Installation Report
목차
개요
한국과학기술연구원(KIST) L3동 1F Line에 설치된 DVIA-P4000 점검 후 튜닝 및 진동측정을 진행하였습니다.
Turned On, IDLE 상태로 점검 및 진동 측정을 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대 정보
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 231101R8
엔지니어
이도윤 책임, 대일시스템
정성윤 연구원, 대일시스템
튜닝 날짜
2026년 5월 22일
설치 장소
L3동 1F Line
End User
한국과학기술연구원(KIST)
고객사 장비
제조사: JEOL
장비명: E-Beam Lithography
모델: JBX-A9 (1825 x 1565 mm, 4500 kg)
결론
최초 설치(Set-up) 당시 레귤레이터 공급 압력은 5.6 bar로 설정되어 있었으나, 현장 방문 시에는 4.6 bar까지 저하되어 있었으며 POS Alarm이 발생하고 있었습니다. 공급 압력을 5.0 bar로 재조정하여 POS Alarm은 해소되었으나, 현장의 공압 공급이 불안정한 상태로 확인되어 성능 위주로 최적화할 경우 동일한 문제가 재발할 가능성이 높은 것으로 판단되었습니다. 또한 진동 측정 결과 장비의 요구 진동 사양을 충분히 만족하고 있었으므로, 최대 성능보다는 장기적인 운용 안정성을 중점으로 시스템 튜닝을 수행하였습니다.
진동 스펙
| 주파수 [Hz] | 스펙 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 0.5 | 1000 |
| 1 | 470 |
| 2 | 80 |
| 3.5 | 45 |
| 9 | 90 |
| 10 | 40 |
| 14 | 33 |
| 17 | 160 |
| 100 | 25 |
진동 스펙 그래프
장비 상태
Turned On, IDLE
측정 장비
Measurement Equipment
- 하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040
- 소프트웨어: B&K Pulse Labshop 22 Version
Accelerometer: 393B05
측정 Set-up
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s^2
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 바닥(Floor) | DVIA-P4000 |
|---|---|---|---|---|
| 1. 바닥 2. DVIA-P4000 | 진동 스펙 참조 | 수직(Z-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS |
| 좌우(X-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| 전후(Y-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS |
측정 데이터
수직(Z-axis) Autospectrum
좌우(X-axis) Autospectrum
전후(Y-axis) Autospectrum
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
비고:
1. VC-A~B: 8~80 Hz, VC-C~G: 1~80 Hz 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 선폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기를 나타냅니다.
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케이스 스터디 정보
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