Korea Institute of Science and Technology (KIST) JEOL JBX-A9 Electron Beam Lithography DVIA-P4000 Installation Report
Contents
개요
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
장비 Turned on/IDLE 상태에서 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.
한국과학기술연구원에 설치된 DVIA-P4000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
제진대
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 231101R8
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
2025년 07월 22일
설치 장소
한국과학기술연구원 L3동 1F Line
End User
한국과학기술연구원
장비 상태
장비설치/IDLE
고객사 장비
Model: JBX-A9
Equipment: Electron Beam Lithography
Manufacturer: JEOL
진동 스펙
진동 측정 장비
10.1) PULSE 22
-Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040
-Software: B&K Pulse Labshop 22 Version
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Average Mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 하부패드 측정값 | DVIA-P4000 측정값 | 하부패드 결과 | DVIA-P4000 결과 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 한국과학기술연구원 L3동 1F Line 1. 하부패드 2. DVIA-P4000 | 장비설치/IDLE | Vertical | VC-B @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-D @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | VC-D @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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