Ningbo University of Technology Hitachi High-Tech FE-SEM SU8600 DVIA-ML1000 설치 보고서
DVIA-M Series
Installation Report
Ningbo University of Technology
Hitachi High-Tech
FE-SEM
SU8600
DVIA-ML1000
250718R2
Ningbo
Contents
개요
DVIA-ML1000 능동 제진 플랫폼은 적절하게 설치되어 의도된 기능으로 작동하고 있습니다.
제진대 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 250718R2
엔지니어
Juhyeok.kim · 대일시스템
설치 날짜
2026.06.05
End User
Ningbo University of Technology
튜닝 횟수
1st
설치 장소
Ningbo · in China
고객사 장비
제조사: Hitachi High-Tech
장비: FE-SEM
모델: SU8600
Tuning Request
진동 스펙
Table 1-2-2 Allowable vibration
Allowable value (X, Y)
| 주파수 [Hz] | 진폭 [μm p-p] |
|---|---|
| 1.0 | 8.0 이하 |
| 1.5 | 3.0 이하 |
| 2.0 | 1.4 이하 |
| 2.4 | 1.4 이하 |
| 3.0 | 3.0 이하 |
| 5.0 | 4.0 이하 |
| 6.0 | 3.5 이하 |
| 10.0 | 3.5 이하 |
Allowable value (Z)
| 주파수 [Hz] | 진폭 [μm p-p] |
|---|---|
| 1.0 | 20 이하 |
| 2.0 | 10 이하 |
| 3.0 | 5.0 이하 |
| 4.0 | 2.7 이하 |
| 5.0 | 1.8 이하 |
| 6.0 | 1.0 이하 |
| 7.0 | 1.0 이하 |
| 10.0 | 1.0 이하 |
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ML1000 | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-ML1000 | Section 9 참조 | 수직 | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 좌우 | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
| 전후 | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
측정 데이터
Vertical
Vertical — Autospectrum
Vertical — VC Curves
Vertical — Transmissibility
Left to Right
Left to Right — Autospectrum
Left to Right — VC Curves
Left to Right — Transmissibility
Front to Back
Front to Back — Autospectrum
Front to Back — VC Curves
Front to Back — Transmissibility
장비 사진
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
1. 8~80Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다.
3. 세부 크기는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에는 해당하지 않습니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
작성일06-05-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Ningbo University of Technology
Hitachi High-Tech
FE-SEM
SU8600
DVIA-ML1000
250718R2
Ningbo
