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설치 보고서
DVIA-M Series
04-13-2026

Shanghai Jiao Tong University Hitachi SU8600 FE-SEM DVIA-M1000 (250320R3) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Shanghai Jiao Tong University
Hitachi
FE-SEM
SU8600
DVIA-M1000
DVIA-ML1000
Shanghai

Contents

개요

The DVIA-ML1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML1000

시리얼 넘버: 250320R3

담당 엔지니어

Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2026년 4월 10일

보고서 작성일

2026년 4월 13일

End User

Shanghai Jiao Tong University

튜닝 횟수

1st

설치 위치

Shanghai, China

장비

제조사: Hitachi

장비: FE-SEM

모델: SU8600

진동 사양

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

Tuning Request

N/A

측정 요약

Measurement PointStatusAxisVibration SpecificationFloorDVIA-ML1000ResultResult
1.Floor
2.DVIA-ML1000		Equipment is Turned on/IDLEVerticalRefer to item 90.97 @ 2.52 Hz0.071 @ 2.52 Hz✓ PASS✓ PASS
Left to Right0.76 @ 1.13 Hz0.14 @ 1.13 Hz✓ PASS✓ PASS
Front to Back1.05 @ 1.13 Hz0.25 @ 1.13 Hz✓ PASS✓ PASS

UI 프로그램 측정 데이터

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospectrum

Front to Back Transmissibility

장비 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		상세 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일04-13-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Shanghai Jiao Tong University
Hitachi
FE-SEM
SU8600
DVIA-M1000
DVIA-ML1000
Shanghai

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