설치 보고서
DVIA-P Series
06-15-2026
HKSTP INNOPARK Dongfang Jingyuan DJEL CD SEM SepA-C310s DVIA-P4000 Installation Report
DVIA-P Series
Installation Report
HKSTP
Dongfang Jingyuan Microelectronics
DJEL CD SEM
SepA-C310s
DVIA-P4000
250902R8
Contents
개요
HKSTP INNOPARK에 DVIA-P4000을 설치한 후, Fuk Wang Street 1번지 마이크로일렉트로닉스 센터에서 튜닝 및 진동 측정을 수행했습니다.
데이터는 VC Curve 형식으로 표현되며 진동 수준에 대한 참조 자료가 제공됩니다.
제진대
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 250902R8
엔지니어
대일시스템 김주혁
튜닝 날짜
2026년 6월 3일
최종 사용자
HKSTP
튜닝 횟수
1st
위치
INNOPARK by HKSTP, Microelectronics Centre, 1 Fuk Wang Street
고객사 장비
제조사: Dongfang Jingyuan Microelectronics
장비: DJEL CD SEM
모델: SepA-C310s
진동 스펙
| 주파수 [Hz] | VC-커브 |
|---|---|
| 1-100 | VC-C |
| 100-200 | VC-D |
측정데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 바닥 | DVIA-P4000 |
|---|---|---|---|---|
| 1. 바닥 2. DVIA-P4000 | 9번 항목 참조 | 수직(Z-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS |
| 좌우(X-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| 전후(Y-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS |
측정 데이터
Vertical Autospectrum (1)
Vertical VC Curves (1)
Vertical Transmissibility (1)
Vertical Autospectrum (2)
Vertical VC Curves (2)
Vertical Transmissibility (2)
Left to Right Autospectrum
Left to Right VC Curves
Left to Right Transmissibility
Front to Back Autospectrum
Front to Back VC Curves
Front to Back Transmissibility
참고 자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A~B: 8~80 Hz, VC-C~G: 1~80 Hz 옥타브 밴드 측정값
2. 정밀도: 마이크로전자 공정에서는 라인 폭, 의료/제약에서는 입자(세포) 크기
3. 프로브 기술, AFM, 나노기술 이미징에는 해당되지 않음
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일06-15-2026
태그
DVIA-P Series
Installation Report
HKSTP
Dongfang Jingyuan Microelectronics
DJEL CD SEM
SepA-C310s
DVIA-P4000
250902R8
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