Tier-1 Semiconductor 화성 Advantest DR-SEM E5610 DVIA-P4000 설치 보고서
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보고서 정보
보고서: DVIA-P4000 Installation Report, S/N 260204R5
작성자: 박동규 · DAEIL SYSTEMS
설치 날짜: 2026.07.22
보고서 작성일: 2026.07.27
개요
Tier-1 Semiconductor 화성 V1 라인 3층에 DVIA-P4000 설치 후 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 설치 및 Turned on 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 Autospectrum(µm p-p)으로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 260204R5
엔지니어
박동규
박규민
튜닝 날짜
2026.07.22
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 화성 V1 라인 3층
End User
고객사: Tier-1 Semiconductor
고객사 장비
제조사: ADVANTEST
장비명: DR-SEM
모델: E5610
진동 스펙
| 주파수 [Hz] | 한도 [µm p-p] |
|---|---|
| 0.5~10 | 1.0 이하 |
| 10~25 | 0.1 이하 |
| 25~100 | 0.03 이하 |
장비 상태
장비 설치 및 Turned on
진동 측정 장비
Measurement Equipment
- 하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040
- 소프트웨어: B&K Pulse Labshop22 Version
Accelerometer
- PCB 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 2400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
결론
점검 결과 제진대(DVIA-P4000) 상판은 X, Y, Z 축 모두 요구 스펙을 만족하였습니다. 바닥(Floor)의 경우 수직(Z-axis)과 전후(Y-axis)에서 요구 스펙을 초과하여 Fail로 측정되었습니다. 에어 배관 연결도 문제없이 연결되어 제진대에 문제없이 에어가 공급되는 것을 확인하였습니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-P4000 | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-P4000 | 진동 스펙 절 참조 | 수직(Z-axis) | ✗ Fail | ✓ PASS |
| 좌우(X-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| 전후(Y-axis) | ✗ Fail | ✓ PASS | ||
측정 데이터
수직(Z-axis) Autospectrum
좌우(X-axis) Autospectrum
전후(Y-axis) Autospectrum
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
¹ 8~80Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.
² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다. 이는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에 해당합니다.
이 표에 제공된 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 사항에 대해 잘 알고 있는 전문가의 조언을 구하는 것이 좋습니다.
