도입사례

LG이노텍(구미사업장 4공장 2층 클린룸) 나노시스템 정밀 계측설비(백색광 간섭계) DVIA-ULF1000 데모 테스트 보고서 — 설치 후 IDLE 상태에서 튜닝과 진동 측정을 진행하고 VC Curve로 표기. Z축 VC-F, X축 VC-E, Y축 VC-D 수준을 확보하여 우수한 진동 절연 성능을 확인. 축별 Autospectrum·VC Curves와 설치 사진을 게시.

Hitachi 수원 NCK센터 1층 연구실 Hitachi High-Tech TEM(HT7830)의 DVIA-ULFB1000 설치 보고서입니다. 설치 후 장비 IDLE 상태에서 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다. 바닥 진동이 이미 수직 VC-E, 수평 VC-G 수준으로 매우 우수하여 전 축에서 장비 요구 진동 스펙을 만족하는 것을 확인하였습니다.

한국기계연구원 L2동 1층 연구실 고진공 챔버용 DVIA-P2200 설치 보고서 — Turn off 상태에서 튜닝 및 진동 측정. 진동 스펙은 정의되지 않았으며, 모든 축에서 바닥/제진대 진동 수준을 VC Curve로 제시합니다.

한국기계연구원 L2동 1층 연구실의 EL 고진공 챔버용 DVIA-P1000 튜닝 및 진동 측정. 에어 배관을 독립식으로 재연결한 후 Turn-off 상태에서 전 축에서 우수한 제진 성능을 확인.

Quantum Photonics Research Laboratory(덴마크 코펜하겐)의 attocube attoDRY1000/SU 폐순환형 저온기(크리오스타트)에 적용한 DVIA-ML1000(시리얼 260725R2) 설치 보고서입니다. 2026.09.22에 튜닝을 진행했으며, 제진대 상판 진동이 고객 요구 사양 VC-E를 전 축에서 충족하는 것을 확인했습니다.

Hubei(허베이) Hubei Jinquan 현장의 ZEISS FE-SEM Sigma 360에 적용한 DVIA-ULF700(시리얼 260605R7) 설치 보고서입니다. 2026.09.08 1차 튜닝에 이어 고객 요청으로 2026.09.21 2차 튜닝을 진행했습니다. 장비를 Idle 상태로 두고 측정했을 때 DVIA-ULF700 상판은 세 축 모두 스펙을 충족했으며, 바닥 진동은 모든 축에서 스펙을 초과했습니다.