도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
시리즈
장비 유형
제조사
전체 도입사례
Lattice Semiconductor ZEISS SEM EVO18 DVIA-U1000 점검 보고서
Lattice Semiconductor ZEISS SEM EVO18에 설치된 DVIA-U1000 (S/N 200203R4) 점검 보고서 — UI 프로그램 점검, DSP 보드 교체 및 VC·Autospectrum·전달률 진동 검증.
한림대학교 JEOL JBX-8100F DVIA-PB2200 설치 보고서
한림대학교(춘천) C/R에 설치된 DVIA-PB2200(시리얼 220926R2) 장비 안착 전 1차 Setup·튜닝 및 진동측정 보고서(JEOL JBX-8100F). 변위센서·Servo Valve 점검, UI Transmissibility(Passive/Active), 축별 Floor·PB2200 VC 곡선을 게시합니다.
성균관대학교 Raith EBPG5150 DVIA-P4000 점검 보고서
성균관대학교 연구동 3F 클린룸 Raith EBPG5150용 DVIA-P4000(시리얼 220714R4) 점검 보고서. 점검일 2024년 2월 19일, Data Physics QUATTRO·SignalCalc ACE. Active on·Float off VC 요약표, Floor·제진대·장비 Cover·Top 측정점 축별 VC 곡선과 설치 사진을 게시합니다.
MIT Menlo Sub-Hz 광학 기준 시스템 DVIA-T45(211206R5-4) 점검 보고서
MIT 26-340호 Menlo Sub-Hz 광학 기준 장비용 DVIA-T45(211206R5-4) 점검: RS-232 케이블 호환·브래킷 제거·Common Potentiometer Float 높이 조정 후 Z/X/Y 전달률 5·10 Hz −20~−25 dB 달성 확인.
Tier-1 Semiconductor DVIA-M-THT3(230818R1-2) 내장 프로그램 워크시트 — 셋업 2024.02.04
DVIA-M-THT3 내장 프로그램 캡처(시리얼 230818R1-2): 셋업 24.02.04, 작성 24.07.05, Remark Good Performance, 내부 프로그램 플롯 3종(수직·좌우·전후). 대상 장비·설치 장소·End user 미기재(N/A). 측정일 2024.02.04(일); 운영자 Chaewon Lee(DAEIL SYSTEMS). 원문 양식에 진동 사양·장비 상태·튜닝 요청·측정 요약 표·Reference 절은 없습니다.
TESCAN Solaris GMH FIB-SEM DVIA-M1000(230509R6-3) — 鹏芯微, 2024-01-31
鹏芯微 — TESCAN Solaris GMH FIB-SEM, DVIA-M1000 시리얼 230509R6-3. 2024.01.31 M1000 내부 프로그램 성능 측정(Z/X/Y).