Hallym University JEOL JBX-8100F DVIA-PB2200 Installation Report
Contents
개요
한림대학교(춘천)에 설치된 DVIA-PB2200의 장비 안착 전 1차 Setup을 진행했습니다.
DVIA-PB2200을 PC와 연결하여 정상 동작 여부 확인 및 UI Program을 통한 설치
튜닝 후 진동측정 장비를 이용한 점검 진행했습니다.
튜닝 보고서 미 요청 건으로 내부 보관용으로 작성되었습니다.
시스템 정보
Model: DVIA-PB2200 (DVIM-F-500 (2EA))
Serial Number: 220926R2
엔지니어
이영하 주임, 이채원 사원
설치 일자
February 20, 2024
설치 위치
한림대학교, C/R
장비
JEOL JBX-8100F
튜닝 횟수
1회차(장비 안착 전 튜닝)
장비 상태
장비 안착 전 상태
측정 장비
9.1) Data Physics
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
9.2) Measurement Setting
Bandwidth: 0 - 200Hz
Lines: 1600
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
9.3) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
9.4) Measurement Method
상부(Top plate), 하부(Floor)에 진동 측정용 가속도 센서를 부착합니다.
Vertical, Left to Right, Front to Back 방향으로 진동을 측정합니다.
측정 Data를 VC Curve Graph에 표기하였습니다.
결론
변위센서 초기 설정 값(Vertical: 1 mm, Horizontal: 3 mm)을 올바르게 설정 완료했습니다.
Float 완료 후 변위센서의 Float 높이(Vertical: 2.5 mm, Horizontal: 0 mm) 및 Servo Valve 작동 정상적으로 출력됩니다.
상부 무게가 없는 상태로 Base platform 내 존재하는 DVIM-F Isolator에 Air를 공급할 수 없습니다.
PB2200 내부 Air 배관과 Unit 케이블로 인해 DVIM-F 분리 후 측정은 수행하지 못했습니다.
PB2200 상부에 무게가 없고, DVIM-F이 체결되어 있기 때문에 뛰어난 Passive, Active 성능을 발휘하지 못합니다.
진동 측정 결과 요약
데이터 및 이미지
변위센서 및 Servo Valve 출력 점검
Float On 이후 변위 센서 입력 값 확인
Float On 이후 Vertical 2.5 mm, Horizontal 0 mm으로 변위센서 값이 정상적으로 출력됩니다.
Float On 이후 Servo Valve 출력 값 확인
상부 장비 안착 전 상태에서의 Servo Valve의 출력이 약 1으로 모두 비슷한 출력을 보입니다.
Float On 변위 센서 입력 값
Float On Servo Valve 출력 값
UI Program Transmissibility
Passive Vertical Transmissibility
장비 안착 전으로 PB2200 위에 무게가 없고, DVIM-F Isolator로 체결되어 있어 9 Hz 이상에서 공진봉이 나타납니다.
Passive Left to Right Transmissibility
장비 안착 전으로 PB2200 위에 무게가 없고, DVIM-F Isolator로 체결되어 있어 17 Hz에서 공진봉이 나타납니다.
Passive Front to Back Transmissibility
장비 안착 전으로 PB2200 위에 무게가 없고, DVIM-F Isolator로 체결되어 있어 17 Hz에서 공진봉이 나타납니다.
Active Vertical Transmissibility
낮은 무게로 인해 FeedBack 튜닝 시 위상 마진을 위해 P Gain을 10 이하로 설정했습니다.
감쇠 형태는 유지되지만 제한적인 Gain 값으로 높은 성능을 출력할 수 없습니다.
Active Left to Right Transmissibility
낮은 무게로 인해 FeedBack 튜닝 시 위상 마진을 위해 P Gain을 10 이하로 설정했습니다.
감쇠 형태는 유지되지만 제한적인 Gain 값으로 높은 성능을 출력할 수 없습니다.
DVIM-F 체결 간섭 및 FeedForward 제어로 인해 20Hz에 공진봉이 나타납니다.
Active Front to Back Transmissibility
낮은 무게로 인해 FeedBack 튜닝 시 위상 마진을 위해 P Gain을 10 이하로 설정했습니다.
감쇠 형태는 유지되지만 제한적인 Gain 값으로 높은 성능을 출력할 수 없습니다.
DVIM-F 체결 간섭 및 FeedForward 제어로 인해 20Hz에 공진봉이 나타납니다.
Vertical Floor VC Curve (rms Velocity, m/s)
Vertical PB2200 VC Curve (rms Velocity, m/s)
무게가 없는 상태에서의 Servo Valve의 낮은 출력으로 주변 환경에 쉽게 영향을 받아 3 Hz 이하의 PB2200 진동이 증가합니다.
무게가 없는 상태에서의 FeedBack 제어의 악영향으로 20 Hz에서 진동이 증가합니다.
Left to Right Floor VC Curve (rms Velocity, m/s)
Left to Right PB2200 VC Curve (rms Velocity, m/s)
무게가 없는 상태에서의 FeedBack 제어의 악영향으로 12.5 Hz - 20 Hz에서 진동이 증가합니다.
Front to Back Floor VC Curve (rms Velocity, m/s)
Front to Back PB2200 VC Curve (rms Velocity, m/s)
무게가 없는 상태에서의 FeedBack 제어의 악영향으로 12.5 Hz - 20 Hz에서 진동이 증가합니다.
참조
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
