Hallym University JEOL JBX-8100FS DVIA-P2200 Installation Report
Contents
개요
한림대학교 산학협력관 4F FAB에 설치된 DVIA-P2200 점검 진행하였습니다.
FAB내에서 Compressor가 돌아갈 때 장비에서 진동이 확인되어 점검 요청받았습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태에서 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P2200
시리얼 넘버: 220926R2
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
2025년 10월 02일
설치 장소
한림대학교 산학협력관 4F FAB
최종 사용자
한림대학교
장비 상태
장비설치/IDLE
고객사 장비
Manufacturer: JEOL
Equipment: Electron Beam Lithography
Model: JBX-8100FS
진동 스펙
진동 측정 장비
Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Average Mode: Exponential, 40
결론
모든 현장 방문 시 제진대의 제진 성능이 다소 떨어져 있는 상태였습니다.
튜닝을 통해 성능을 다시 끌어올렸으며, 현장에서 문제가 해소된 것을 확인하였습니다.
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 측정값 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 진동 | DVIA-P2200 | 바닥 진동 | DVIA-P2200 | |||
| 한림대학교 산학협력관 4F FAB 1. 바닥 진동 2. DVIA-P2200 | 장비 Turned on/IDLE | Vertical | VC-B @ 31.5 Hz | VC-E @ 31.5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-D @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | VC-D @ 1.6 Hz | VC-F @ 1.6 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Left to Right VC Curves
Front to Back VC Curves
장비사진
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
