Lattice Semiconductor ZEISS SEM EVO18 DVIA-U1000 Inspection Report
목차
Prepared for:
Lattice Semiconductor
점검자:
Jongwon Park — 점검 일자: 24.02.16 — 보고서 작성일: 24.02.21
개요
DVIA-U1000에 Active 버튼이 동작하지 않는 현상으로 점검 요청받았습니다
교체 수리를 대비하여 출장 키트(DSP Board, Geophone sensor, LCD Board, 통신케이블) 구비 후 출장 방문했습니다.
DVIA-U1000을 PC와 연결하여 UI Program을 통한 점검, 진동측정 장비를 이용한 점검 진행했습니다.
시스템 정보
모델: DVIA-U1000
시리얼: 200203R4
엔지니어
DAEIL SYSTEMS Jongwon Park
점검 일자
2024년 2월 16일
설치 장소
Lattice Semiconductor 1F Clean room Alabang, Philippines
장비
ZEISS SEM EVO18
튜닝 시도 횟수
1차 점검
장비 상태
Equipment is installed / Turned off
측정 장비
9.1) Data Physics
하드웨어: QUATTRO, 시리얼: 22436
소프트웨어: SignalCalc ACE
9.2) Measurement Setting
대역폭: 1 - 80Hz
Lines: 800
Window: Hanning
평균: FFT Spectrum Averaging
엔지니어링 단위: N/A
9.3) Accelerometer
PCB Accelerometer
모델: 393B05
결론
상부(Top plate), 하부(Floor)에 진동 측정용 가속도 센서를 부착하여 X, Y, Z축 측정을 통해 VC Curve, Transmissibility Graph, Autospectrum Graph를 표기하였습니다.
점검 당시 UI Program의 통신 연결이 불가능하여 DSP Board, 통신 케이블, LCD Board를 점검 및 교체하였습니다.
Z축 진동 측정 결과 저주파대역(10Hz 이하)의 1Hz에서 VC-D(4.79E-06)이며 DVIA-U1000에서 VC-F(1.32E-06)까지 감쇠합니다. 63Hz에서 지반 진동이 VC-C(1.20E-05)가 측정되지만, DVIA-U1000에서 VC-G(3.20E-07)까지 감쇠합니다.
X축 진동 측정 결과 저주파대역(10Hz 이하)의 1Hz에서 VC-E(1.88E-06)이며 DVIA-U1000에서 VC-F(1.06E-06)까지 감쇠합니다. 63Hz에서 지반 진동이 VC-E(1.58E-06)가 측정되지만, DVIA-U1000에서 VC-G(3.39E-07)까지 감쇠합니다.
Y축 진동 측정 결과 저주파대역(10Hz 이하)의 1.75Hz에서 VC-F(1.29E-06)이며 DVIA-U1000에서 VC-F(9.96E-07)로 감쇠합니다. 63Hz에서 지반 진동이 VC-F(1.15E-06)가 측정되지만, DVIA-U1000에서 VC-G(3.39E-07)까지 감쇠합니다.
진동 결과 요약
| 측정 지점 | Z축(수직) 1–10 Hz | Z축(수직) 12.5–80 Hz | X축(좌우) 1–10 Hz | X축(좌우) 12.5–80 Hz | Y축(전후) 1–10 Hz | Y축(전후) 12.5–80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | D(✓ Pass) | C(✓ Pass) | E(✓ Pass) | E(✓ Pass) | F(✓ Pass) | F(✓ Pass) |
| Active | F(✓ Pass) | G(✓ Pass) | F(✓ Pass) | G(✓ Pass) | F(✓ Pass) | G(✓ Pass) |
ZEISS EVO18 Allowable Vibration Spec
ZEISS EVO18 Allowable Vibration Spec VC-Curve(속도 m/s rms Graph)
데이터 및 이미지
UI Program Transmissibility
Z axis (Vertical) Transmissibility
저주파대역(10Hz 이하) 4Hz에서 -14.9dB로 지반진동을 82% 이상 감쇠합니다.
10Hz에서 -21.35dB로 91% 이상의 지반진동 감쇠 Performance를 보입니다.
X axis (Left to Right) Transmissibility
저주파대역(10Hz 이하) 4Hz에서 -16.46dB로 지반진동을 85% 이상 감쇠합니다.
10Hz에서 -26.05dB로 95% 이상의 지반진동 감쇠 Performance를 보입니다.
Y axis (Front to Back) Transmissibility
저주파대역(10Hz 이하) 4Hz에서 -18.94dB로 지반진동을 88% 이상 감쇠합니다.
10Hz에서 -26.06dB로 95% 이상의 지반진동 감쇠 Performance를 보입니다.
12.2 Vibration Measurement
Z axis (Vertical) VC Curve (속도 m/s rms Graph)
진동 측정 결과 저주파대역(10Hz 이하)의 가장 진동이 큰 1Hz에서 VC-D(4.79E-06)가 VC-F(1.32E-06)로 감쇠 되었습니다. 고주파대역(10Hz 초과) 63Hz에서 지반 진동이 VC-C(1.20E-05)가 측정되지만 DVIA-U1000에서 VC-G(3.20E-07)까지 감쇠합니다.
Z axis (Vertical) Autospectrum Graph (속도 m/s rms Graph)
X axis (Left to Right) VC Curve (속도 m/s rms Graph)
진동 측정 결과 저주파대역(10Hz 이하)의 가장 진동이 큰 1Hz에서 VC-E(1.88E-06)가 VC-F(1.06E-06)로 감쇠 되었습니다. 고주파대역(10Hz 초과) 63Hz에서 지반 진동이 VC-E(1.58E-06)가 측정되지만 DVIA-U1000에서 VC-G(3.39E-07)까지 감쇠합니다.
X axis (Left to Right) Autospectrum Graph (속도 m/s rms Graph)
Y axis (Front to Back) VC Curve (속도 m/s rms Graph)
진동 측정 결과 저주파대역(10Hz 이하)의 가장 진동이 큰 1.75Hz에서 VC-F(1.29E-06)가 VC-F(9.69E-07)로 감쇠 되었습니다. 고주파대역(10Hz 초과) 63Hz에서 지반 진동이 VC-F(1.15E-06)가 측정되지만 DVIA-U1000에서 VC-G(3.39E-07)까지 감쇠합니다.
Y axis (Front to Back) Autospectrum Graph (속도 m/s rms Graph)
Transmissibility Graph
Data Physics QUATTRO 진동 측정 장비를 이용하여 DVIA-U1000 Top plate와 하부 Floor에 진동 측정용 가속도 센서를 부착합니다.
1Hz - 80Hz에서 측정한 값을 이용하여 Transmissibility Graph를 표시할 수 있습니다.
Transmissibility(진동 전달률) = 상부 부착 센서의 진동 측정 값 하부 부착 센서의 진동 측정 값
저주파 대역(10Hz 이하)에서는 매우 작은 지반 진동(VC-G)으로 인해 다소 낮은 전달률을 보이지만 80% - 90% 감쇠율이 유지됩니다.
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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