설치 보고서

DVIA-ULF Series

08-11-2026

YIMOTECH ZEISS EVO 10 SEM DVIA-U1000 Installation Report (2nd Tuning)

DVIA-U Series

Installation Report

YIMOTECH

Shanghai Tight Welding Institute

ZEISS

EVO 10

SEM

DVIA-U1000

241217R6

Shanghai

개요

상하이 현장에 DVIA-U1000을 설치한 뒤 튜닝과 진동 측정을 진행했습니다.

진동 측정은 장비를 Turned off 상태로 두고 수행했습니다.

측정 데이터는 VC Curve 형식으로 표현했으며, 진동 레벨 판단에 참고할 자료를 함께 실었습니다.

제진대

모델: DVIA-U1000

시리얼 넘버: 241217R6

엔지니어

Taehun KIM · 대일시스템

튜닝 날짜

2026.08.04

End User

Sanghai Jinhansuo (上海紧焊所)

튜닝 횟수

2nd

설치 장소

Sanghai

고객사 장비

제조사: ZEISS

장비명: SEM

모델: EVO 10

장비 상태

Turned off

Tuning Request

UI 프로그램 측정 데이터

Vertical — Transmissibility

Left to Right — Transmissibility

Front to Back — Transmissibility

설치 사진

참고자료

아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.

기준 곡선	설명	진폭 (μm/s) (μin/s)	세부 크기 (μm)
Workshop (ISO)	뚜렷하게 인지되는 진동. 작업장 및 비민감 영역에 적합합니다.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 영역에 적합합니다.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 인지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 영역에 적합합니다. 일반적으로 컴퓨터 장비, 병원 회복실, 반도체 프로브 테스트 장비 및 40배 미만 현미경에 적합합니다.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	인지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수술실, 100배 현미경 및 기타 저감도 장비에 적합합니다.	100 (4,000)	25
VC-A	400배 광학 현미경, 마이크로밸런스, 광학 밸런스, 근접·투영 정렬기 등에 대부분 적합합니다.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭까지의 검사 및 리소그래피 장비(스테퍼 포함)에 적합합니다.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배 광학 현미경, 1μm 세부 크기까지의 리소그래피·검사 장비(중간 감도 전자현미경 포함), TFT-LCD 스테퍼/스캐너 공정에 적합한 표준입니다.	12.5 (500)	1-3
VC-D	다수의 전자현미경(SEM/TEM) 및 E-Beam 시스템 등 까다로운 장비에 대부분 적합합니다.	6.25 (250)	0.1-0.3
VC-E	달성하기 까다로운 기준. 장경로·레이저 기반·소형 타겟 시스템, 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 민감 시스템에 적합한 것으로 가정합니다.	3.12 (125)	<0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장됩니다.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장됩니다.	0.78 (31.3)	N/A

참고:

1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기 등을 의미하며, 프로브 기술·AFM·나노기술과 연관된 이미징에 관한 것입니다.

이 표의 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 해당 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 조건을 잘 아는 전문가의 자문을 받을 것을 권장합니다.

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