Installation Report
DVIA-M Series
10-26-2017
Qualcomm Wuxi ZEISS Crossbeam 540 DVIA-MB1000 (MB1000 P47) China trip report — 2017.10.26
DVIA-M Series
Installation Report
Qualcomm
Wuxi
ZEISS
Crossbeam 540
DVIA-MB1000
MB1000
P47
Contents
중국 출장 보고서 (MB1000_P47 Set up)
VC-Class (general condition)
Target equipment
ZEISS-CROSSBEAM 540
Place of installation
중국 WUXI
Remark
기업 연구동 1층에 설치
END USER
QUALCOMM
Business trip
출장일 : 17.10.21~17.10.25
Operator
출장자 : 최형문
Report written date
작성일 : 17.10.26
Overview
제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.
Measurement date
측정일: 2017. 10. 24 (화), 측정자: 대일시스템 최형문 과장
Measurement site
측정장소 : QUALCOMM 1층 연구소
Equipment model
장비 모델 : ZEISS-CROSSBEAM 540
Measurement conditions and results
Summary of measurement results
| Test Condition | Z | X | Y |
|---|---|---|---|
| 건물 바닥 | E | E | F |
| 제진대 상판 | G | G | G |
전 방향 성능이 양호하며, VC-Class그래프를 첨부함.
측정 조건은 일반 조건( SEM 펌프 가동 )과 악의 조건( SEM/코팅기 펌프 가동/사람이 걸어 다닐 때)으로 측정함.
주변 펌프가 작동하거나 사람이 돌아다니는 등 환경이 변화해도 제진대 상부의 진동 환경에는 큰 영향을 주지 않음.
이미지 측정시 고객 성능 만족함.
MB1000 internal program performance measurement result
Z axis (MB1000 internal program)
X axis (MB1000 internal program)
Y axis (MB1000 internal program)
Octave Band Result
Z axis (octave band)
X axis (octave band)
Y axis (octave band)
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Case Study Information
Category
Installation Report
SeriesDVIA-M Series
Date10-26-2017
Tags
DVIA-M Series
Installation Report
Qualcomm
Wuxi
ZEISS
Crossbeam 540
DVIA-MB1000
MB1000
P47
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