Installation Report
DVIA-M Series
11-21-2016
Tongji University (Shanghai) ZEISS SIGMA 300VP DVIA-MB1000 (MB1000 P28) China business trip worksheet — 2016.11.21
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000 P28
Carl Zeiss
SIGMA 300VP
Tongji University
Shanghai
China
2016
Contents
China business trip report (MB1000_P28 Set up)
Target equipment
타겟 장비명 – SIGMA 300VP ( ZEISS SEM )
Installation photograph
Business trip personnel and dates
출장일: 16.11.16 ~ 16.11.18
출장자: 임종욱
작성일: 2016.11.21
Trip schedule
※ 출장 일정
16.11.16
-출국, 상해 동지대학교 방문
-설치 장소 확인 및 준비
16.11.17
-MB1000_P28 셋업 진행 (상해 동지 대학교)
-장비 이미지 확인
-진동 환경 측정 및 고객 대응
16.11.18
-귀국
Installation summary
| Test Direction | VC-Class | Base | Top |
|---|---|---|---|
| ACTIVE | Z | E | G |
| X | E | G | |
| Y | E | G |
전 방향 성능 양호.
바닥 진동환경은 수직축 전 방향 E Class로 측정되었음.
액티브 시 제진대 상판 진동환경은 전 방향 G Class로 성능이 양호함.
전체적으로 4Hz 이상의 주파수에서는 바닥 진동상태가 양호하였으나, 저주파가 강하게 발생하고 있는 것으로 측정됨. Active 적용 후 저주파 진동이 상당히 감소되었음을 확인함.
장비의 이미지를 확인하고, 고객이 만족하였음.
MB1000 internal program performance measurement result
Internal program: Z axis
Internal program: X axis
Internal program: Y axis
Vibration environment measurement result
Vibration environment: Z axis
Vibration environment: X axis
Vibration environment: Y axis
Image comparison (approx. 1M magnification)
| Image 비교 (약 100만배율) | |
|---|---|
| ✓ PASSIVE | |
| ACTIVE | |
PASSIVE
ACTIVE
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Case Study Information
Category
Installation Report
SeriesDVIA-M Series
Date11-21-2016
Tags
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000 P28
Carl Zeiss
SIGMA 300VP
Tongji University
Shanghai
China
2016
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