도입사례

LG이노텍(구미사업장 4공장 2층 클린룸) 나노시스템 정밀 계측설비(백색광 간섭계) DVIA-ULF1000 데모 테스트 보고서 — 설치 후 IDLE 상태에서 튜닝과 진동 측정을 진행하고 VC Curve로 표기. Z축 VC-F, X축 VC-E, Y축 VC-D 수준을 확보하여 우수한 진동 절연 성능을 확인. 축별 Autospectrum·VC Curves와 설치 사진을 게시.

Hitachi 수원 NCK센터 1층 연구실 Hitachi High-Tech TEM(HT7830)의 DVIA-ULFB1000 설치 보고서입니다. 설치 후 장비 IDLE 상태에서 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다. 바닥 진동이 이미 수직 VC-E, 수평 VC-G 수준으로 매우 우수하여 전 축에서 장비 요구 진동 스펙을 만족하는 것을 확인하였습니다.

한국기계연구원 L2동 1층 연구실 고진공 챔버용 DVIA-P2200 설치 보고서 — Turn off 상태에서 튜닝 및 진동 측정. 진동 스펙은 정의되지 않았으며, 모든 축에서 바닥/제진대 진동 수준을 VC Curve로 제시합니다.

한국기계연구원 L2동 1층 연구실의 EL 고진공 챔버용 DVIA-P1000 튜닝 및 진동 측정. 에어 배관을 독립식으로 재연결한 후 Turn-off 상태에서 전 축에서 우수한 제진 성능을 확인.

중국 허베이(Hebei)의 Hebei Hengke Vibration Damping Equipment Co., Ltd.(End User) 현장의 ZEISS EVO 10 SEM에 적용한 DVIA-ULF700(시리얼 260827R1) 설치 보고서입니다. 2026.09.14 튜닝을 마친 뒤 장비를 IDLE 상태로 두고 설치 바닥과 DVIA-ULF700 상판 두 지점에서 진동을 측정했습니다. 바닥과 DVIA-ULF700 두 지점 모두 세 축(Vertical, Left to Right, Front to Back)에서 요구 진동 스펙을 충족(PASS)했습니다. 튜닝 요청 작업지시서, UI 프로그램으로 취득한 축별 Autospectrum 그래프, 설치 현장 사진 1장을 함께 게시합니다.

Tier-1 Semiconductor 천안(C3라인 6층 양산품질팀 클린룸) ZEISS Xradia 730 Versa X-ray 현미경의 DVIA-ULF1500 설치 보고서입니다. 이전 설치 후 장비 전원 온 상태, 능동 제진 동작 상태에서 튜닝과 진동 측정을 진행하였습니다. ULF 모듈 2기 사이 중앙 지점에서 바닥 진동이 전 축 VC-C 등급 이내로 저감되었습니다. 축별 VC Curves를 게시합니다.