도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
시리즈
장비 유형
제조사
전체 도입사례
Tier-1 Semiconductor 화성 ZEISS AIMS™ 1X-193i DVIA-P4000(034014B) 설치 보고서
DVIA-P4000(S/N 034014B) Tier-1 Semiconductor 화성 NRD Line 3F 7bay 현장에서 ZEISS AIMS™ 1X-193i Photomask Qualification 장비(장비 설치 및 IDLE) 점검·진동 측정. 수직·좌우·전후 VC 곡선과 Autospectrum을 게시.
Institute of Microsystems Thermo Fisher Scientific Talos F200 DVIA-M3000(250708R7) 설치 보고서
Institute of Microsystems에서 Thermo Fisher Scientific Talos F200 TEM과 DVIA-M3000(시리얼 250708R7)에 대한 설치 보고서입니다. 튜닝 요청 화면, 축별 전달률, 장비 사진, Reference 일반 진동 기준은 마크다운 표로 제공합니다.
Tier-1 Semiconductor 기흥 SR1 ZEISS AIMS™ 1X-193i DVIA-P4000 (190104R4) 설치 보고서
Tier-1 Semiconductor 기흥 SR1 라인 ZEISS AIMS™ 1X-193i DVIA-P4000 제진대 점검 및 진동측정 설치 보고서.
브루커 코리아 ZEISS Gemini SEM 560 DVIA-ULF1000 설치 보고서
가든파이브 툴관 5F Bruker Korea Demo실, ZEISS GeminiSEM 560 FE-SEM용 DVIA-ULF1000(S/N 250717R1) 설치·측정. 측정일 2025-10-13, 장비 설치 및 Turned off 상태. 웹 게시: 장비 스펙(장비 스펙 절 이미지), VC/Autospectrum/Transmissibility, 설치 사진(WebP).
Bruker Korea ZEISS Solaris GeminiSEM 560 DVIA-ULF1000(250717R1) 설치 보고서
Bruker Korea Demo Lab ZEISS FE-SEM Solaris GeminiSEM 560용 DVIA-ULF1000(시리얼 250717R1) 설치·진동 측정 보고서(튜닝 2025년 10월 13일, 보고서 작성 2025년 10월 14일). 장비 설치 및 Turned off 상태. 진동 사양 도면, 3축 VC·Autospectrum·Transmissibility, 설치 사진을 게시하며 Reference는 VC 마크다운 표만 제공합니다.
Tier-1 Semiconductor Raith Voyager 설치 보고서
Raith Voyager 전자빔 리소그래피 장비에 대한 DVIA-ML3000 설치 및 진동 측정 사례입니다.