ELP Vision Inspection DVIA-ULFB350 (250804R3) Installation Report
목차
개요
ELP 클린룸 A동에 설치된 DVIA-ULFB350 제진대 설치 후 튜닝 및 진동 측정 하였습니다.
장비 설치 및 Turned On 상태에서 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.
제진대 사용 시 이미지 흔들림의 발생으로 점검을 요청 받아 재 튜닝 진행하였습니다.
좌측에 있던 장비가 중앙으로 이동하여 패시브 세팅이 불안정하여, 다시 세팅을 진행 한 후 튜닝을 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULFB350
시리얼 넘버: 250804R3
엔지니어
대일시스템 개발팀 사원 박동규
측정 날짜
2025년 10월 31일
설치 장소
ELP 클린룸 A동
End User
ELP
장비 상태
장비설치/Turned on
고객사 장비
Manufacturer: ELP
Equipment: 화질검사 설비
Model: -
진동 스펙
-
진동 측정 장비
10.1) Pulse 22
-Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040
-Software: B&K Pulse Labshop 22 Version
10.2) ) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
Bandwidth: 200 Hz
Lines: 3200
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: Max
결론
장비 동작 시에도 제진대가 안정적으로 작동함을 확인하였습니다.
제진대 상판의 모든 방향에서 VC-G의 진동이 측정됩니다.
고객사로부터 장비 이동 범위를 확인하고, 모든 구간에서 패시브가 안정적으로 유지됨을 확인하였습니다.
고객사와 함께 제진대 사용시에도 이미지 흔들림이 없는 것 을 확인하였습니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 결과 | 바닥 진동 | DVIA-ULFB350 |
|---|---|---|---|---|---|
| ELP 클린룸 A동 1.바닥 진동 2.DVIA-ULFB350 | 장비설치/ Turned off | Vertical | VC-E @ 50 Hz | VC-G @ 50 Hz | |
| Left to Right | VC-G @ 31 Hz | VC-G @ 31 Hz | |||
| Front to Back | VC-F @ 50 Hz | VC-G @ 70 Hz |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
장비사진
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
이 케이스 스터디 공유하기
케이스 스터디 정보
관련 케이스 스터디
ELP Vision Inspection System DVIA-ULFB350 Installation Report
YIMOTECH Thermo Fisher Helios 5CX FIB-SEM DVIA-ULF1000 Installation Report
