도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
시리즈
장비 유형
제조사
전체 도입사례
YIMO 화루이코어 Raith Voyager DVIA-M1000(250805R3) 설치 보고서
화루이코어 머티리얼즈(우시) DVIA-M1000(시리얼 250805R3) 설치 보고서 — Raith Voyager 전자빔 리소그래피. 능동 제진대는 현장에 적절히 설치되었고 의도한 대로 동작함. 본 방문 자료는 수직·좌우·전후 전달률 플롯, 튜닝 요청 화면 캡처, 현장 장비 사진으로 구성됨.
ELP 화질 검사 DVIA-ULFB350 (250804R3) 설치 보고서
ELP 클린룸 A동 DVIA-ULFB350(S/N 250804R3) 설치 후 튜닝·진동 측정(측정 2025.10.31·보고 2025.11.06). 이미지 흔들림 점검 요청 재튜닝, 장비 중심 이동에 따른 패시브 재세팅·튜닝, Pulse 22 측정 조건 하 VC·Autospectrum·Transmissibility 및 측정 데이터표(설치 상태: 장비설치/Turned off)를 포함합니다.
창평 P3 연구실 Thermo Fisher Scientific Cryo-TEM Krios G4 DVIA-MB3000(250708R5-1) 설치 보고서 — 2025년 11월 5일
2025년 11월 5일 Changping P3 Laboratory 현장에서 Thermo Fisher Scientific Cryo-TEM Krios G4 상부에 DVIA-MB3000(시리얼 250708R5-1) 제진대가 적절히 설치·운용 중임을 정리한 설치 보고서. 프로그램 기반 튜닝 요청 화면, 방향별 Transmissibility 플롯(수직·좌우·전후), 장비 사진을 게시하고, Reference는 마크다운 표로 제공한다. 대일시스템 Chaewon Lee 담당; 보고서 작성일 2025.11.11.
YIMO 창핑 P3 연구실 Thermo Fisher Arctis Cryo-Plasma FIB-SEM DVIA-ML1000(250715R9) 설치 보고서
창핑 P3 연구실 DVIA-ML1000(시리얼 250715R9) 설치 보고서 — Thermo Fisher Scientific Cryo-Plasma FIB-SEM Arctis. 수직·좌우·전후 전달률, 튜닝 요청 화면, 현장 장비 사진.
Tier-1 Semiconductor 2F 클린부스 DVIA-ULF700(250708R1-1) 설치 보고서
DVIA-ULF700(시리얼 250708R1-1) Tier-1 Semiconductor 2F 클린부스 설치·진동 튜닝 보고입니다. 측정일 2025-11-04, 장비 설치 및 Turned on/IDLE 상태(제진 상부 로터리 펌프 작동 언급). 3축 VC·Autospectrum·Transmissibility 그림만 게재하며, DOCX 헤더 장식 및 참고 VC 그림(EMF)은 사이트 규칙에 따라 생략하고 Reference는 표로 제공합니다.
Tier-1 Semiconductor 2F 클린부스 자체 제작 장비 DVIA-ULF700(250708R1-1) 설치 보고서
Tier-1 Semiconductor 2F 클린부스 자체 제작 장비용 DVIA-ULF700(시리얼 250708R1-1) 설치 및 튜닝·진동측정(Rev 2 양식, 보고 2025-11-04). 장비 설치 및 Turned on/IDLE 상태 VC·Autospectrum·Transmissibility 9매, 참고 VC는 표만.