Gedeon Richter JEOL JSM-IT500HR DVIA-ML1000 Installation Report
개요
게데온리히터(Gedeon Richter) — JEOL JSM-IT500HR SEM, DVIA-ML1000(시리얼 250829R1), 1차 튜닝. 장비는 제진대 상에 설치·Turned on/IDLE.
엔지니어: 이채원, Jonghwa Suh
진동 제어 시스템
모델: DVIA-ML1000
시리얼: 250829R1
튜닝 일자
2025년 11월 26일
보고서 작성일
2025년 12월 1일
설치 장소
Gedeon Richter Laboratory
고객사 장비
제조사: JEOL / SEM / Model: JSM-IT500HR
장비 상태
제진대(DVIA-ML1000) 상에 장비 설치, 가동(Idle) 상태로 측정
튜닝 횟수
1차
진동 측정 장비
Data Physics DAQ: QUATTRO (Serial 22436), SignalCalc ACE
가속도계: PCB 393B05
진동 측정 Setup
Bandwidth: 625 Hz / Lines: 3200 / Averaging: Spectrum Averaging / Engineering Units: m/s / Window: Hanning / Overlap: Max
진동 사양
Builder limitations: 5 Hz 이상 3.1 μm/s 이하.
결론
DVIA-ML1000 설치 후 모든 축에 대해 바닥 진동이 진동 사양 이내로 저감됨.
Builder limitations
5 Hz 이상에서 3.1 μm/s 이하
측정 데이터 요약
| 측정 장소 | 측정 지점 | 상태 | 방향 | 측정값(바닥) | 측정값(DVIA-ML1000) | 결과(바닥) | 결과(제진대) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Gedeon Richter Lab | 1. 바닥 / 2. DVIA-ML1000 | On/IDLE | 수직 | VC-C @ 25 Hz | VC-G @ 25 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 좌우 | VC-E @ 10 Hz | VC-G @ 10 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| 전후 | VC-E @ 10 Hz | VC-G @ 10 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터·이미지
수직·좌우·전후 각각 VC Curves, Autospectrum, Transmissibility
수직 VC-curves
수직 Autospectrum
수직 전달률
좌우 VC-curves
좌우 Autospectrum
좌우 전달률
전후 VC-curves
전후 Autospectrum
전후 전달률
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
