도입사례

DVIA-M1000 축약 설치 보고서(시리얼 230809R2). 설치일 23.11.02, 작성일 23.11.03, 측정일 2023.11.02(목) 동관, 운영자 대일시스템 Jongwon Park. END USER Guangdong Jiashang New Energy Tech Co., Ltd., Target equipment Solaris GMH 및 설치 장소 Dongguan은 양식과 동일합니다. 개요는 표준 DVIA-M1000 문장만 포함합니다. 원문 양식에 진동 사양·장비 상태·튜닝 요청·측정 요약 표·Reference 절은 없습니다. 원문 절 제목은 “M1000 internal program performance measurement result”이며, 게시 그림은 Z axis·X axis·Y axis 라벨의 프로그램 결과 세 장입니다. Word 표지·헤더 장식 그림은 게시본에서 제외했습니다.

Huawei Solaris GMH(상해): DVIA-M1000 시리얼 230509R6-2 설치 — Z·X·Y축 M1000 내부 프로그램 성능 측정 화면 공개.

성균관대학교 연구동 JEOL JBX-8100FX 전자빔 리소그래피용 DVIA-P2200(시리얼 220509R3) 점검 보고서. 담당 윤하리·박종원, 튜닝·보고 2023년 10월 31일. Feedback/Feedforward 재튜닝 완료(성능 양호), 공기 공급 용량 부족으로 Caution AIR LED 점등(성능 영향 없음). 바닥·액티브 VC 등급 요약과 Z/X/Y VC 곡선을 게시합니다.

DVIA-M1000 축약 설치 보고서(시리얼 230328R3, 원본 M1000_230328R3_23.10.31.docx). 설치·작성일 23.10.31, 측정일 2023.10.31(화) 상하이, 운영자 대일시스템 Sangjae Lee. END USER Dow Chemical, Target equipment Sigma 300 및 설치 장소 Shanghai는 양식과 동일합니다. 개요는 표준 DVIA-M1000 문장만 포함합니다. 원문 양식에 진동 사양·장비 상태·튜닝 요청·측정 요약 표·Reference 절은 없습니다. 원문 절 제목은 “M1000 internal program performance measurement result”이며, 게시 그림은 Z axis·X axis·Y axis 라벨의 프로그램 결과 세 장입니다. 양식 머리글은 (M1000_ 230328R3 Set up)로 표기되어 있습니다. Word 표지·헤더 장식 그림은 게시본에서 제외했습니다.

DVIA-M1000 축약 설치 보고서(파일 시리얼 230420R3). 설치·작성일 23.10.31, 측정일 2023.10.31(화) 상하이, 운영자 대일시스템 Sangjae Lee. END USER Dow Chemical, Target equipment Sigma 300 및 설치 장소 Shanghai는 양식과 동일합니다. 개요는 표준 DVIA-M1000 문장만 포함합니다. 원문 양식에 진동 사양·장비 상태·튜닝 요청·측정 요약 표·Reference 절은 없습니다. 원문 절 제목은 “M1000 internal program performance measurement result”이며, 게시 그림은 Z axis·X axis·Y axis 라벨의 프로그램 결과 세 장입니다. 양식 머리글은 (M1000_ 230328R3 Set up)로 표기되어 있습니다. Word 표지·헤더 장식 그림은 게시본에서 제외했습니다.

DVIA-M1000 시리얼 221108R1 — Suzhou Sko Semiconductor, 대상 장비 Sigma 300, 설치·측정지 Suzhou 양식. 내부 프로그램 결과 플롯은 원문 축 라벨 Z axis / X axis / Y axis. 회사명 상단 장식용 그래픽은 게시 제외.